產(chǎn)品解決方案

產(chǎn)品名稱： SuperView W1 1200光學(xué)3D表面輪廓儀

一、 產(chǎn)品開發(fā)背景

目前國(guó)內(nèi)的光學(xué)3D表面輪廓儀在技術(shù)指標(biāo)上與國(guó)外差距較大，且在整機(jī)的測(cè)量穩(wěn)定性上也存在一定的差距。由于技術(shù)差距，導(dǎo)致了國(guó)內(nèi)高精度的光學(xué)3D表面輪廓儀市場(chǎng)一直被國(guó)外占領(lǐng)，且形成了價(jià)格壟斷。SuperView W1 1200 光學(xué)3D表面輪廓儀在精度、穩(wěn)定性方面力求接近進(jìn)口品牌的水平，在價(jià)格和技術(shù)上打破國(guó)外的壟斷，提升了我國(guó)在測(cè)量領(lǐng)域的測(cè)量水平，填補(bǔ)我國(guó)在表面3D檢測(cè)的高端精密光學(xué)儀器技術(shù)上的空白。

SuperView W1 1200 光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝檢測(cè)、超精密加工、納米材料、光學(xué)加工、集成電路工藝檢測(cè)、汽車零部件、機(jī)器人、MEMS器件檢測(cè)、薄膜檢測(cè)、航空航天、國(guó)防軍 工、科研院所等行業(yè)及領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從光滑到粗糙的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的輪廓、線粗糙度、面粗糙度，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

二、 產(chǎn)品圖片

產(chǎn)品型號(hào)：SuperView  W1 1200

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

三、 產(chǎn)品描述

SuperView W1 1200光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

SuperView W1 1200光學(xué)3D表面輪廓儀只需操作者裝好被測(cè)器件，在軟件測(cè)量界面上設(shè)置好視場(chǎng)參數(shù)，調(diào)整鏡頭到接近器件表面，選擇自動(dòng)聚焦，儀器會(huì)對(duì)器件表面進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦并找到干涉條紋，調(diào)節(jié)好干涉條紋寬度后即可開始進(jìn)行掃描測(cè)量；掃描結(jié)束后，軟件分析界面自動(dòng)生成器件3D圖像，操作者可通過軟件對(duì)生成的3D形貌進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取表征器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。

SuperView W1 1200 光學(xué)3D表面輪廓儀采用光學(xué)非接觸式測(cè)量方法，它具有測(cè)量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測(cè)量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn)，其獨(dú)特的光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測(cè)。

系統(tǒng)軟件為簡(jiǎn)體中文操作系統(tǒng)，操作方便。

四、 產(chǎn)品功能

1．行業(yè)領(lǐng)域和應(yīng)用對(duì)象

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

應(yīng)用范例：

2．軟件功能

(1) 提供多種數(shù)據(jù)處理方式。

提供校平、鏡像、旋轉(zhuǎn)等操作調(diào)整圖像位置；

提供空間濾波、標(biāo)準(zhǔn)濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行修正；

提供提取區(qū)域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測(cè)區(qū)域。

(2) 提供多種分析工具。

提供距離、臺(tái)階高度等要素測(cè)量；

提供點(diǎn)、線、圓弧、角度等特征測(cè)量，以及直線度、真圓度等形位公差評(píng)定，為用戶展現(xiàn)強(qiáng)大的輪廓分析功能；

提供基于表面的紋理分析，方便地觀察紋理方向與紋理均質(zhì)性；

提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點(diǎn)計(jì)數(shù)、孔的體積等多種有針對(duì)性的分析功能；

提供頻譜分析功能，可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關(guān)性等；

提供全面的線粗糙度、面粗糙度的參數(shù)分析功能；

提供依據(jù)四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)(ISO/ASME/EUR/GBT)計(jì)算的2D，3D參數(shù)，參見參數(shù)表：

表 1：2D參數(shù)表

表 2：3D參數(shù)表

(3) 可視化的工作流模式，數(shù)據(jù)處理器和結(jié)果管理器具有可視工作流程樹圖，在每個(gè)節(jié)點(diǎn)既可以是數(shù)據(jù)處理選項(xiàng)也可以是分析結(jié)果。

(4) 多樣化的視圖觀察角度，3D視圖可以清晰地查看被測(cè)物的每一個(gè)特征，并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。

(5) 內(nèi)置多種分析方案，可對(duì)特定表面進(jìn)行一鍵分析，自動(dòng)生成一組分析結(jié)果，節(jié)約操作時(shí)間；并可自定義方案，將用戶指定的分析項(xiàng)目組合起來，避免重復(fù)操作。

(6) 便捷的同步分析功能，可實(shí)時(shí)提取表面二維剖面，同步計(jì)算更新參數(shù)指標(biāo)，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的操作所見即所得。

(7) 擁有多種報(bào)表形式，用戶可根據(jù)需要導(dǎo)出分析結(jié)果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。

五、 性能特色

1、 高精度、高重復(fù)性、高穩(wěn)定性

1） 采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊組成測(cè)量系統(tǒng)，保證測(cè)量精度高；

2） 精密的Z向掃描模塊和獨(dú)特的測(cè)量模式，保證測(cè)量重復(fù)性高；

3） 高性能的內(nèi)部抗震設(shè)計(jì)，為測(cè)量高穩(wěn)定性保駕護(hù)航。

2、 自動(dòng)化操作的測(cè)量軟件

依托人性化設(shè)計(jì)的測(cè)量軟件，W1 1200 光學(xué)3D表面輪廓儀的操作具備如下特點(diǎn)：

1） 自動(dòng)聚焦，幫助用戶省去繁瑣的調(diào)節(jié)過程；

2） 可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程；

3） 掃描完成后，掃描模塊自動(dòng)跳轉(zhuǎn)初始位置，無須用戶手動(dòng)操作；

4） 自動(dòng)化測(cè)量，依托高精度定位光柵和相應(yīng)軟件模塊，針對(duì)大尺寸樣品可編程進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)量；

3、 功能強(qiáng)大的的XtremeVision Pro版3D形貌分析軟件

XtremeVision Pro版3D形貌分析軟件，具有如下特點(diǎn)：

1） 分析工具齊全，幾何分析、參數(shù)分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

2） 同步分析，測(cè)量參數(shù)隨提取剖面實(shí)時(shí)變化，實(shí)現(xiàn)測(cè)量的所見即所得；

3） 一鍵分析，常用的分析流程可保存為方案，測(cè)同種樣品一鍵獲取分析結(jié)果，提高批量測(cè)量效率；

4） 測(cè)量參數(shù)齊全，可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)；

4、 精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作。

六、技術(shù)指標(biāo)

1. 參數(shù)指標(biāo)

注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測(cè)量Ra為0.2nm硅晶片Ra參數(shù)獲得；

臺(tái)階高性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測(cè)量4.7μm臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。

光學(xué)規(guī)格表

2．儀器尺寸（長(zhǎng)×寬×高）： 主機(jī)：900×700×604mm；

3．儀器主機(jī)重量：小于90Kg；

4．使用環(huán)境：無強(qiáng)磁場(chǎng)，無振動(dòng)，無腐蝕氣體

工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 1℃/15分鐘

相對(duì)濕度：40-60%，無凝結(jié)

七、 產(chǎn)品配置清單

標(biāo)準(zhǔn)配置：

1) 白光干涉測(cè)量?jī)x主機(jī)  1臺(tái)；

2) 干涉物鏡：10× ；

3) XY自動(dòng)工作臺(tái) 1臺(tái)；

4) 臺(tái)階樣塊及粗糙度標(biāo)準(zhǔn)塊1套；

5) XtremeVision Pro測(cè)量軟件1套；

6) 品牌計(jì)算機(jī)1套；

7) HP激光打印機(jī)1臺(tái)（型號(hào)隨HP廠家變更而變更）；

8) 儀器配件箱1個(gè)；

9) 電氣控制箱1個(gè)；

10) 加壓裝置1套；

11) 產(chǎn)品使用說明書1套；

12) 產(chǎn)品合格證、保修卡1套；

13) 免費(fèi)保修1年。

可選配置：

1） 干涉物鏡：2.5×、5×、20×、50×、100×；

2） 影像系統(tǒng)：2048×2048；

3） 操作手柄1個(gè)；

4） T形槽圓形旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)；

八、交貨與驗(yàn)收

1、 交貨

1）交貨期：合同生效后60個(gè)工作日內(nèi)。

2）交貨地點(diǎn)：免費(fèi)快遞到需方指定的交貨地點(diǎn)。

2、 安裝與培訓(xùn)

1）我公司負(fù)責(zé)在用戶現(xiàn)場(chǎng)對(duì)設(shè)備行進(jìn)安裝和調(diào)試；

2）在設(shè)備安裝調(diào)試時(shí)對(duì)買方技術(shù)人員進(jìn)行理論、實(shí)際操作及維修等的培訓(xùn)，使用戶技術(shù)人員掌握設(shè)備操作，能熟練使用設(shè)備進(jìn)行檢定工作，保證設(shè)備正常運(yùn)行并能排除設(shè)備的一般故障和特殊保養(yǎng)。

3、 驗(yàn)收

1）驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：以合同及技術(shù)協(xié)議為準(zhǔn)。

2）驗(yàn)收項(xiàng)目：核對(duì)該設(shè)備的主機(jī)及附件、工具的數(shù)量及規(guī)格應(yīng)符合合同技術(shù)協(xié)議及設(shè)備使用說明書的要求；核對(duì)該設(shè)備的使用說明書等各類資料是否齊全，是否滿足技術(shù)協(xié)議要求。

3）在合同驗(yàn)收和合同執(zhí)行過程中，如有任何影響設(shè)備的性能的漏項(xiàng)和短缺，如設(shè)備附件、技術(shù)資料、使用手冊(cè)、專用工具，備品備件、服務(wù)及技術(shù)指導(dǎo)等，我公司負(fù)責(zé)免費(fèi)將漏項(xiàng)和短缺補(bǔ)齊。

4）驗(yàn)收合格后，雙方簽定《產(chǎn)品驗(yàn)收?qǐng)?bào)告》。

5） 產(chǎn)品外觀以實(shí)物為準(zhǔn)。

十、售后服務(wù)

1、 設(shè)備質(zhì)保期

1）驗(yàn)收合格雙方簽定《產(chǎn)品驗(yàn)收?qǐng)?bào)告》后12個(gè)月內(nèi)；

2）在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生的故障，其故障部分質(zhì)保期自修復(fù)之日起順延。

2、 售后服務(wù)內(nèi)容

1）質(zhì)保期內(nèi)：實(shí)行“三包”，用戶所購(gòu)設(shè)備各部件發(fā)生非人為故障，我司免費(fèi)更換同種品牌不低于原價(jià)位、規(guī)格、型號(hào)的部件。

2）質(zhì)保期后：我公司提供持續(xù)的優(yōu)惠服務(wù)和技術(shù)支持，設(shè)備出現(xiàn)故障需要修理時(shí)，所換零件按成本價(jià)收取。軟件隨國(guó)家規(guī)程變更免費(fèi)升級(jí)，硬件優(yōu)惠升級(jí)。

3）排故響應(yīng)時(shí)間：我司在接到報(bào)障信息后，2小時(shí)內(nèi)回應(yīng)，我司通過電話、傳真及郵件的方式指導(dǎo)買方排除故障；若故障仍不能排除，將在72小時(shí)內(nèi)上門調(diào)試維修排故或用戶將儀器發(fā)回本公司維修。