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等離子清洗機 SHNTI YP-20等離子清洗機

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產(chǎn)品特點

新型電感耦合技術(ICP)產(chǎn)生等離子體,粒子密度遠高于傳統(tǒng)的電容耦合技術(CCP)
產(chǎn)生的高濃度氧自由基可高效去除樣品表面碳氫污染物
“DOWNSTREAM”清洗方式對樣品無損傷,表面原始形貌被完整保

詳細介紹

核心優(yōu)勢

  • 新型電感耦合技術(ICP)產(chǎn)生等離子體,粒子密度遠高于傳統(tǒng)的電容耦合技術(CCP)

  • 產(chǎn)生的高濃度氧自由基可高效去除樣品表面碳氫污染物

  • “DOWNSTREAM”清洗方式對樣品無損傷,表面原始形貌被完整保持

  • 工作氣壓范圍:0.01-500Pa,不破壞被清洗腔室的高真空

  • 集成式軟件控制,一鍵點擊清洗,無需用戶過多操作


用戶界面

  • 直接安裝于高真空腔室的接口上無需特殊固定工具

  • 可預設清洗流程,遠程操控

  • 用戶友好型操作界面,內置不同種類樣品常用清洗設置

  • 樣品室和樣品均可被清洗


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性能參數(shù)

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應用案例

硅片樣品

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