字符數   (cps)

950

信號響應時間   (1%)   (ms)

0.2

標刻速度   (m/s)

33

跟蹤誤差   (ms)

0.12

非線性度   (urad/44°)

＜2

分辨率   (msrd)

0.02

重復精度   (urad)

＜20

增益漂移   (ppm/k)

40

零點漂移   (urad/k)2

10

定位速度   (m/s)

20

調焦速度   (ms)

＜10   (全范圍)

工作溫度   (℃)

10-40

儲存溫度   (℃)

-10~+60

電源輸入

±15V   5 A

通訊接口

XY2-100