Horiba氫氟酸濃度計CM-200A/CM-210A

 概要

CM-200A/CM-210A為監測半導體制造工藝中氫氟酸濃度而開發出來的高精度氫氟酸濃度計。該設備通過采用電磁感應導電率計測量并實時顯示氫氟酸濃度。廣泛適用于各個使用氫氟酸的制造工藝，例如：清洗蝕刻后的晶片。

特征

實時顯示氫氟酸濃度
可以通過導電率傳感器檢測氫氟酸濃度，通過<導電率>-<氟酸濃度>的檢量線，自動地實時顯示氟酸濃度。

實現了半導體制造工藝中低濃度范圍的高精度
產品幾乎覆蓋了半導體制造工藝中所使用的氫氟酸溶液的全部量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低濃度量程中，也實現了±2%F.S.以內的再現精度。適合于要求低濃度范圍控制的存儲器生產線中發揮出威力。

確保穩定檢測的傳感器
沉浸型傳感器已經完全被PFA樹脂模塊化，所以不會因氫氟酸溶液而發生金屬腐蝕現象。并且，金屬等不純物不會溶入到樣品溶液中，因此可以對其進行穩定的檢測。

裝有報警功能
為了實現更加可靠的工藝管理，分別具有濃度輸出以及濃度上限?濃度上上限?濃度下限?濃度下下限的報警輸出功能。

可以用于多用途
采用小巧的DIN96尺寸的轉換器。小型?輕便，最適于組裝到氟酸的稀釋裝置、供給裝置、晶片的清洗裝置中。并且，具有直接浸沒到液體中的沉浸型傳感器(CM-200)和設置在工藝配管中的流通形傳感器(CM-210)。您可以根據用途自由選擇。

規格    CM-200A/CM-210A

測量原理

2個環狀螺線管(T1是通過交流電的勵磁變壓器、T2是檢測變壓器)被模塊化于傳感器的塑料外殼內部。當傳感器沉浸在溶液中時，溶液將在2個環狀螺線管之間產生一個閉合回路。如果環狀螺線管T1的線圈中通過一恒定的交流電流，則會在磁圈中產生一恒定的磁場，依照樣品的導電率電流i流過樣品溶液。根據電流i環狀螺線管T2中將會產生相應的磁場，并且在T2的線圈中將會產生感應電動勢。由于感應電動勢e(電壓)與樣品的電導率呈比例關系，通過測量e可得知電導率值。這樣經過檢測的導電率和氫氟酸濃度存在極高的關聯性，可以根據預已知的參考曲線計算得出并顯示氫氟酸濃度。