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六氟化鎢傳感器
- 品牌：四方光電
- 型號： /
- 產地：湖北 武漢
- 供應商報價：面議
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四方光電（武漢）儀器有限公司
更新時間：2025-08-08 09:29:02 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業執照已審核
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產品特點
- 紅外氣體傳感器是由四方光電自主研發的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR)，能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。
詳細介紹
四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR)，能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，適合半導體行業化學沉積設備、原子層沉積設備腔室的清潔終點監測。
四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器產品特性
使用NDIR技術，多氣體監測支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應時間快，高靈敏度
無耗材
模擬/數字通信
模塊化設計，便于集成
四氟化硅傳感器技術參數
檢測原理 NDIR 檢測氣體 SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 量程 1~264ppm(0~200mTorr) 重復性 ±0.5% 線性 ±1%F.S. 檢測限 1ppm 相關資訊
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