擴散泵

擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。擴散泵中的油在加熱到沸騰溫度（約為200度）后產生大量的油蒸氣，油蒸氣經導流管從各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強，被抽氣體的分子便不斷擴散到高速定向蒸氣流中，隨著蒸氣流帶走。