超精密加工

對工件材質、加工設備、工具、測量和環境等條件都有特殊的要求，需要綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統、計算機控制以及其他先進技術。加工設備要有極高的運動精度，導軌直線性和主軸回轉精度要達到0.1微米級,微量進給和定位精度要達到0.01微米級。對環境條件要求嚴格，須保持恒溫、恒濕和空氣潔凈，并采取有效的防振措施。加工系統的系統誤差和隨機誤差都應控制在 0.1微米級或更小。