- 2025-01-21 09:32:30rie刻蝕
- RIE刻蝕（反應(yīng)離子刻蝕）是一種微納加工技術(shù)，結(jié)合化學(xué)反應(yīng)和物理轟擊實(shí)現(xiàn)材料刻蝕。它利用高能離子束轟擊樣品表面，同時(shí)引入反應(yīng)性氣體與樣品發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成揮發(fā)性產(chǎn)物并被抽走，從而實(shí)現(xiàn)材料的精確去除。RIE刻蝕廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光學(xué)等領(lǐng)域，具有刻蝕精度高、邊緣整齊、適用于復(fù)雜圖形加工等優(yōu)勢(shì)。
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