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2025-04-12 13:38:01磷酸
磷酸是一種常見的無機(jī)酸,廣泛應(yīng)用于食品、飲料、肥料和工業(yè)生產(chǎn)中。

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2020-09-04 17:12:20芯中有我|電子級(jí)磷酸
電子級(jí)磷酸電子級(jí)磷酸屬于高純磷酸,是電子行業(yè)廣泛使用的一種超高純化學(xué)試劑,主要用于芯片的濕法清洗和濕法蝕刻,包括基片涂膠前的清洗,光刻過程中的蝕刻及ZZ去膠以及硅片本身制作過程中的清洗和絕緣膜蝕刻、半導(dǎo)體膜蝕刻、導(dǎo)體膜蝕刻、有機(jī)材料蝕刻等。隨著芯片制程的不斷變小,芯片生產(chǎn)工藝對(duì)磷酸質(zhì)量要求越來越高,生產(chǎn)難度也越來越大。根據(jù)網(wǎng)絡(luò)信息顯示,此前電子級(jí)磷酸只有美國、德國、日本、韓國等少數(shù)幾個(gè)國家可以生產(chǎn),直到去年才有國內(nèi)廠家取得技術(shù)突破,可以自行生產(chǎn)電子級(jí)磷酸,并將之出口到三星等國際知名芯片制造廠商。其實(shí)早在2011年12月30日,全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)就發(fā)布了國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T28159-2011《電子級(jí)磷酸》,其中將電子級(jí)磷酸分為E1普通電子級(jí)磷酸和E2高純電子級(jí)磷酸,并分別對(duì)其中陰陽離子和金屬含量做了要求。瑞士萬通離子色譜整機(jī)由瑞士進(jìn)口,堅(jiān)實(shí)可靠,可以對(duì)電子級(jí)磷酸中硝酸根、硫酸根和氯離子等陰離子以及部分陽離子進(jìn)行分析,確保磷酸的產(chǎn)品質(zhì)量。二維離子色譜測定濃磷酸中的痕量陰離子在進(jìn)行痕量分析時(shí),高濃度的磷酸會(huì)對(duì)其它離子的分析造成干擾,需要采用二維離子色譜對(duì)其進(jìn)行分析。樣品首先通過DY根色譜柱進(jìn)行預(yù)分離,待測離子與磷酸分開,然后樣品進(jìn)入第二個(gè)六通閥,通過切換六通閥,待測離子在預(yù)濃縮柱富集隨后進(jìn)入第二根色譜柱進(jìn)行再次分離,而磷酸則直接排入廢液,如下圖所示:管路連接示意圖樣品經(jīng)過DY根色譜柱后的色譜圖,綠色部分為切換進(jìn)第二根色譜柱的時(shí)間段經(jīng)過切換,ZZ進(jìn)入第二根色譜柱的樣品中磷酸根離子已經(jīng)濃度大大降低,可以對(duì)其進(jìn)行正常分離,從而達(dá)到檢測痕量陰離子的目的。預(yù)分離色譜柱:Metrosep Organic Acids 250預(yù)分離淋洗液:超純水,預(yù)分離淋洗液流速:0.5mL/min色譜柱:Metrosep A Supp5-250淋洗液:2.8mmol/L碳酸鈉+5.0mmol/L氫氧化鈉流速:0.7mL/min定量環(huán):200μL檢測器:電導(dǎo)檢測器磷酸中的鎂、鈣和鐵對(duì)于雜質(zhì)含量較高的磷酸樣品,也可直接稀釋后進(jìn)樣。如下圖,將樣品稀釋1000倍后可以直接進(jìn)樣對(duì)其中的鎂、鈣、鐵進(jìn)行檢測。色譜柱:Metrosep C4-150淋洗液:5mmol/L酒石酸+0.09mmol/L吡啶二羧酸+2mmol/L抗壞血酸流速:0.9mL/min定量環(huán):100μL檢測器:電導(dǎo)檢測器紫外法檢測磷酸中的痕量硝酸根對(duì)于磷酸中的硝酸根,由于其具有紫外吸收,還可以采用紫外檢測器對(duì)其進(jìn)行檢測,將樣品稀釋50倍后進(jìn)樣,zui低檢測濃度可以達(dá)5ppb。色譜柱:Metrosep Dual 3紫外波長:215nm淋洗液:300mmol/L磷酸流速:1mL/min定量環(huán):1000μL電子級(jí)試劑是芯片制造過程中十分重要的原材料。瑞士萬通離子色譜可以對(duì)多種電子級(jí)試劑的純度進(jìn)行檢測,為芯片的產(chǎn)品質(zhì)量和成品率提供保障,在以后的文章中我們還會(huì)繼續(xù)分享其它電子級(jí)試劑的檢測解決方案,敬請(qǐng)期待!
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