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- 原愿剛賦倜 2017-04-10 00:00:00
- 要主要利用輝光放電(glow discharge)將氬氣(Ar)離子撞擊靶材(target)表面， 靶材的原子被彈出而堆積在基板表面形成薄膜。濺鍍薄膜的性質、均勻度都比蒸鍍薄膜來的好，但是鍍膜速度卻比蒸鍍慢很多。
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