產品介紹:
靈敏度: 20 - 100 nm
Chem 20? 化學式粒子計數器
jian端的微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學品,該粒子計數器需要經過高度過濾,適用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化學式粒子計數器具有20 nm的粒子靈敏度,是目前靈敏度zui高的高純度工藝化學品粒子傳感器。
來自化學品輸送和包裝系統的廣泛數據證明,與其競爭產品相比,具有20nm靈敏度的PMS Chem 20傳感器統計出的顆粒濃度較大,數據具有統計意義。 Chem 20化學顆粒計數器是非常有用的工具,在化學顆粒源影響工藝和設備性能之前,它使設備和工藝工程師能夠快速檢測并描述化學顆粒源。
特點
新增離線采樣功能
先進的激光光學和檢測器使檢測化學物質的靈敏度達到20 nm
車載化學流量計用于設定樣品流量
di一個能針對低和高折射率化學品進行優化的顆粒計數器,以提高產品性能:
Chem 20傳感器,用于具有較低折射率的化學品
Chem 20-HI傳感器,適用于硫酸和其他高指數化學品
內部泄漏檢測會在內部化學品泄漏時提供報警
低流量檢測器和報警器,以確保數據一致
宏觀氣泡探測器用于保護傳感器性能
本地數據顯示
優點
實時檢測20 nm PSL和9 nm Au微粒
檢測影響良率的粒子(競爭技術無法達到)
在掃描表面或得到數據之前,快速響應粒子偏移
優化化學品輸送系統,覆蓋從裝卸碼頭到加工點的整個過程
改善樣本的數據統計,加強過程工藝控制
針對不同潔凈度的產品,使用兩種視圖模式優化儀器操作,拓展產品應用空間
傳統數據采集系統能夠靈活通信
便捷的在線和離線20nm監測
應用
化學輸送系統內的實時粒子監測
流程監控點
化學包裝操作監控
化學過濾器性能和效率描述
化學處理部件的性能測試
化學品質量驗證
可用的配件
Facility Net軟件
Facility Net軟件提供了一項全面環境監測的解決方案,包含實時的以及歷史數據顯示。兼容的PMS粒子計數器和分子污染監測器,以及各種第三方產品。
液體安裝套件
與在線應用一起使用,液體安裝套件包括一個 Flaretek?擴口工具,25英尺又1/4英寸氟烷氧基烷烴管子和陽螺紋接頭
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山東優云譜光電科技有限公司是塵埃粒子計數器YP-C01專業生產廠家,多年儀器生產經驗,塵埃粒子計數器型號齊全,檢測精度高,歡迎來電咨詢!
DB-602是我司自產的新款標準粒子發生器,該儀器主要用于現場在線粒子計數器的檢驗。可發生0.5μm與5μm的粒子,而且支持兩臺流量為50L/min的設備同時使用。
ND-9330激光塵埃粒子計數器用于測量潔凈環境單位體積空氣內的塵埃粒子大小及數目,可直接檢測潔凈度等級為三十萬級至百級的潔凈環境。
AeroTrakTM系列 計數器輕便(5.8-6.4kg)、便攜、可以使用交流電或鋰電池。
遠程塵埃粒子傳感器主要用于電子行業、制藥行業等對潔 凈度要求較高的潔凈廠房。這種傳感器便于安裝、實現超 標預警,從而充分降低生產或實驗環境空氣潔凈度被污染 所導致的產品質量不良風險
ND-9102型激光塵埃粒子計數器用于測量潔凈環境單位體積空氣內的塵埃粒子大小及數目,可直接檢測潔凈度等級為三十萬級至百級的潔凈環境。
ND-E3016 型激光塵埃粒子計數器用于測量潔凈環境單位體積空氣內的塵埃粒子大小及數目,可直接檢測潔凈度等級為三十萬 級至百級的潔凈環境。ND-E3016 型激光塵埃粒子計數器是根據顆粒的光散射原理設計制造的。其采用了半導體激光光源,觸 摸屏幕顯示,體積小、重量輕、檢測精度高、功能操作簡單明了,微處理器控制, 可貯存、打印測量結果,測試潔凈環境十分便利。另外,可通過計算機專用軟件下 載存儲數據。操作非常的便利。產品廣泛應用于電子、光學、化學、食品、化妝品、 醫藥衛生、生物制品、航空航天等部門。
亞微米粒子會造成可能導致相當大產量損失的缺陷。即使是測量值為0.1μm的Z小粒子,也可能會損壞半導體芯片的結構。創新的ADPC 302可測量芯片傳送載體內的粒子數量(前開式晶圓傳送盒FOUP,前開式裝運箱FOSB)。全自動的專利工藝從載體表面(包括門)對粒子進行定位和計數。