Europlasma 超薄等離子涂層設(shè)備
Europlasma 無鹵素等離子涂層設(shè)備
Europlasma 卷繞式等離子涂層設(shè)備 CD 2400
Europlasma 無鹵素防水涂層設(shè)備
Diener 聚對(duì)二甲苯涂層設(shè)備 P120D
價(jià)格電議
Europlasma CD1000PLC 低壓等離子表面處理設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的清洗, 功能性改性, 處理溫度 40℃ 以下.
材料：鋁
有效尺寸：700 x 700 x 1000mm
容積：490L
托盤：8個(gè)
CD1000PLC 低壓等離子表面處理設(shè)備 技術(shù)參數(shù)：
反應(yīng)艙 | 材料：鋁 有效尺寸：700 x 700 x 1000mm 容積：490L 艙門：裝有可視窗口 托盤：8個(gè) 尺寸：591 x 697 x 40mm |
真空度測(cè)量 | 皮拉尼真空計(jì) |
真空泵 | 旋片初級(jí)真空泵和480m3 /h的機(jī)械增壓泵 |
頻射發(fā)生器 | 0~2500W可調(diào)。KHz發(fā)生器 |
控制系統(tǒng) | PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能： 自動(dòng)控制反應(yīng)過程； 根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝參數(shù)； 測(cè)定真空泵壓力、抽真空時(shí)間、充氣速度、工作壓力、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo)； 監(jiān)測(cè)所有的運(yùn)行指標(biāo)，保證各項(xiàng)參數(shù)在設(shè)定范圍之內(nèi)； 設(shè)定操作、維護(hù)密碼。 |
電源 | 380V AC, 三相，50Hz, 40A |
反應(yīng)氣體 | 一個(gè)氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC） |
氣體輸入 | 直徑1/4英寸（6.35mm） 管道；輸入壓力：1Bar |
尾氣排放 | 直徑38mm 輸出端口 |
性能 | 急停開關(guān)；真空泵保護(hù)鎖；高溫保護(hù)鎖；CE認(rèn)證。 |
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潤(rùn)滑油
伯東公司日本原裝設(shè)計(jì)制造離子蝕刻機(jī) IBE. 提供微米級(jí)刻蝕, 均勻性: ≤±5%, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對(duì)磁性材料, 黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復(fù)合半導(dǎo)體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供蝕刻. 可用于反應(yīng)離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料
伯東公司日本原裝進(jìn)口小型離子蝕刻機(jī), 適用于科研院所, 實(shí)驗(yàn)室研究, 干式制程的微細(xì)加工裝置, 特別適用于磁性材料, 金, 鉑及各種合金的銑削加工.
伯東公司日本原裝進(jìn)口小型離子蝕刻機(jī), 適用于科研院所, 實(shí)驗(yàn)室研究, 干式制程的微細(xì)加工裝置, 特別適用于磁性材料, 金, 鉑及各種合金的銑削加工.
上海伯東日本原裝進(jìn)口適合小規(guī)模量產(chǎn)使用和實(shí)驗(yàn)室研究的離子蝕刻機(jī), 一般通氬氣 Ar, 內(nèi)部使用美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC 40 產(chǎn)生轟擊離子; 終點(diǎn)檢出器采用 Pfeiffer 殘余質(zhì)譜監(jiān)測(cè)當(dāng)前氣體成分, 判斷刻蝕情況.
Aston? 特性 實(shí)時(shí)過程控制的通用工具, 耐腐蝕性氣體, 抗冷凝 半導(dǎo)體制造的分子分析原位平臺(tái), 提供實(shí)時(shí), 可操作的數(shù)據(jù) 采用等離子體電離源, 無燈絲, 更耐用 可與大批量生產(chǎn)工具完全集成 Aston? 作為一個(gè)強(qiáng)大的平臺(tái), 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 優(yōu)點(diǎn) 1. 前級(jí)泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達(dá)15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對(duì)氦氣抽速 2.5 l/s 3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的Z小檢測(cè)漏率： 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸槍模式: 5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)Z小漏律 4. 移動(dòng)式操作面板（有線, 無線） 5. 集成 SD卡, 方便資料處理 6. 抗破大氣, 抗震動(dòng), 降低由操作失誤帶來的風(fēng)險(xiǎn)性 7. 豐富的可選配件, 如吸槍, 遙控器, 小推車, 旁路裝置, 標(biāo)準(zhǔn)漏孔等 8. 檢測(cè)時(shí)間短
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢(shì): 1. 強(qiáng)大的抽空能力 2. 極短的測(cè)試時(shí)間, 3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉(zhuǎn)和拆卸 4. 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動(dòng)性強(qiáng) 5. 通過 CE 認(rèn)證, ETL 認(rèn)證, UL61010 合規(guī), 完全符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn) 6. 可用于半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)和平板顯示器行業(yè)以及其他要求極高的應(yīng)用
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