伯東公司德國普發(fā)Pfeiffer分子泵
Pfeiffer Hipace30普發(fā)渦輪分子泵
德國普發(fā)Pfeiffer 多功能 氦質(zhì)譜檢漏儀ASM 340
伯東公司Pfeiffer 普發(fā)分子泵
伯東公司德國普發(fā)Pfeiffer氣體質(zhì)譜儀
干式羅茨泵組 CombiLine WH 系列
上海伯東德國 Pfeiffer 羅茨泵組 WH 系列, 前級泵選用 Pfeiffer 干式螺桿泵 HeptaDry 或 & UniDry, 搭配羅茨泵 Okta 系列. Pfeiffer 羅茨泵組 WH 系列模塊化設(shè)計(jì), 多種型號供選擇, 干燥無油滿足高工藝的應(yīng)用, 例如半導(dǎo)體, 鍍膜, 真空干燥行
Pfeiffer 干式羅茨泵組 WH 特性:
極限真空 2X10-3 mbar
干燥無油
泵組高抽速 240 至 1800 m3/h
前級泵抽速 50 至 400 m3/h
Pfeiffer 干式羅茨泵組 WH 技術(shù)參數(shù):
羅茨泵組型號 | 羅茨泵 | 干式 | 抽速* m3/h | 進(jìn)氣 | 極限真空 mbar | 前級泵 | 羅茨泵 | 噪音* | 重量 | 資料下載 |
WH 240 S | Okta 250 | UniDry 50 S | 240 | DN 63 ISO-F | < 5 X10-3 | 3 | 0.75 | 75 | 360 | 中文 PDF |
WH 400 S | Okta 500 | UniDry 50 S | 400 | DN 100 ISO-F | < 5 X10-3 | 3 | 1.5 | 75 | 390 | 中文 PDF |
WH 450 P | Okta 500 | Hepta 100 P | 450 | DN 100 ISO-F | < 2 X10-3 | 3 | 1.5 | 80 | 510 | 中文 PDF |
WH 950 P | Okta 1000 | Hepta 200 P | 950 | DN 160 ISO-F | < 2 X10-3 | 5.5 | 3 | 80 | 700 | 中文 PDF |
WH 1800 P | Okta 2000 | Hepta 300 P | 1800 | DN 160 ISO-F | < 2 X10-3 | 7.5 | 5.5 | 80 | 840 | 中文 PDF |
* 在 1mbar
Pfeiffer 干式羅茨泵組 WH 應(yīng)用: 鍍膜, 冶金, 真空干燥, 脫氣, 光伏, 研發(fā), 化學(xué)工業(yè)
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潤滑油
伯東公司日本原裝設(shè)計(jì)制造離子蝕刻機(jī) IBE. 提供微米級刻蝕, 均勻性: ≤±5%, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對磁性材料, 黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復(fù)合半導(dǎo)體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供蝕刻. 可用于反應(yīng)離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料
伯東公司日本原裝進(jìn)口小型離子蝕刻機(jī), 適用于科研院所, 實(shí)驗(yàn)室研究, 干式制程的微細(xì)加工裝置, 特別適用于磁性材料, 金, 鉑及各種合金的銑削加工.
伯東公司日本原裝進(jìn)口小型離子蝕刻機(jī), 適用于科研院所, 實(shí)驗(yàn)室研究, 干式制程的微細(xì)加工裝置, 特別適用于磁性材料, 金, 鉑及各種合金的銑削加工.
上海伯東日本原裝進(jìn)口適合小規(guī)模量產(chǎn)使用和實(shí)驗(yàn)室研究的離子蝕刻機(jī), 一般通氬氣 Ar, 內(nèi)部使用美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 40 產(chǎn)生轟擊離子; 終點(diǎn)檢出器采用 Pfeiffer 殘余質(zhì)譜監(jiān)測當(dāng)前氣體成分, 判斷刻蝕情況.
Aston? 特性 實(shí)時過程控制的通用工具, 耐腐蝕性氣體, 抗冷凝 半導(dǎo)體制造的分子分析原位平臺, 提供實(shí)時, 可操作的數(shù)據(jù) 采用等離子體電離源, 無燈絲, 更耐用 可與大批量生產(chǎn)工具完全集成 Aston? 作為一個強(qiáng)大的平臺, 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 優(yōu)點(diǎn) 1. 前級泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達(dá)15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s 3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的Z小檢測漏率： 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸槍模式: 5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)Z小漏律 4. 移動式操作面板（有線, 無線） 5. 集成 SD卡, 方便資料處理 6. 抗破大氣, 抗震動, 降低由操作失誤帶來的風(fēng)險(xiǎn)性 7. 豐富的可選配件, 如吸槍, 遙控器, 小推車, 旁路裝置, 標(biāo)準(zhǔn)漏孔等 8. 檢測時間短
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢: 1. 強(qiáng)大的抽空能力 2. 極短的測試時間, 3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉(zhuǎn)和拆卸 4. 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動性強(qiáng) 5. 通過 CE 認(rèn)證, ETL 認(rèn)證, UL61010 合規(guī), 完全符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn) 6. 可用于半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)和平板顯示器行業(yè)以及其他要求極高的應(yīng)用
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