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射頻功率發生器，射頻電源
- 品牌：美國Advanced Energy
- 型號： CESAR-1310
- 產地：美洲 美國
- 供應商報價：￥35000
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中山市梟射頻科技有限公司
更新時間：2022-03-17 10:06:13 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業執照已審核
- 同類產品13.56MHz，27.12MHz，40.68MHz射頻電源(1件)
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產品特點
- 強大而多功能的 Cesar? 平臺可提供非常穩定的射頻功率輸送性能，以及一個多樣化的模式選擇，每種模式都具有一套獨特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；擁有多種用戶界面和輸入選擇），從而使您能夠選擇一套特別適合您應用的組件——而無需定制發生器所需的漫長交付期。
高質量的組件和較少的零件數量使可靠性和產品生命周期均實現Z優化，從而使您的投資和制程生產力得到Z大化的利用。一個全面而高度靈敏的操作菜單（可在該組件的多功能前面板上找到，并顯示在一個大的液晶顯示屏上）帶來了無與倫比的便利性——提高了操作人員的效率，并使培訓成本Z小化。
優點 功能
更長的制程正常運行時間
更高的操作簡易性和靈活性
無需定制組件提前期的定制化性能
長期的使用簡易性，節省成本
世界級的服務和支持
精簡的流線型設計
標準的平臺包裝
高效率——低發熱量
200和400 VAC 的輸入選擇
兩個模擬用戶端口選擇
RS-232、以太網、和 Profibus 通訊
多功能前面板
便利、全面的操作菜單
CEX（相位同步）操作模式
遵循 SEMI?（符合或超過標準） 詳細介紹
RF output specifications
Frequency 13.56 MHz ±0.005%
Minimum output power 10 W
Note: The CESAR generator can operate below
this level, but accuracy is not guaranteed.
Maximum output power 1 kW
Delivered power into
mismatch
16% of nominal power
Maximum reflected
power
200 W
Load Impedance 50 ?
Harmonics At full rated output, all harmonics are 50 dB below
the RF output signal when operated into a 50 ?,
nonreactive load impedance. All spurious
(nonharmonic) outputs are 60 dB below the RF
output signal.
RF Power Regulation 1.0% of set point or 0.1% of full rated power,
whichever is greater
RF Power Stability 1.0% of set point or 0.2% of full rated power,
whichever is greater
RF Power Response
Time
For detailed specifications of RF waveforms, see
www.dressler.com/products/generators.
RF Pulse frequency 1 Hz to 30 kHz
RF Pulse Duty Cycle 0% to 99%
CEX Specifications
CEX input signal TTL; 0 to +10 dBm; 50 ?
CEX output signal TTL ; +3 to +10 dBm; 50 ?
Cooling medium Air
Minimum air flow 118 m 3 /h (69.45 cfm)
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滬公網安備 31011502008050號