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俄羅斯Optosystem CL7000 準(zhǔn)分子激光器

銷售范圍售全國(guó)

入駐年限第4年

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產(chǎn)品特點(diǎn)

俄羅斯Optosystem CL7000 準(zhǔn)分子激光器，由于波長(zhǎng)短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應(yīng)用上，準(zhǔn)分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。

俄羅斯Optosystem CL7000準(zhǔn)分子激光器

俄羅斯Optosystem CL7000 準(zhǔn)分子激光器(圖1)

特點(diǎn)

1、陶瓷放電激光腔設(shè)計(jì)，長(zhǎng)壽命
2、激光腔，電子系統(tǒng)一體化設(shè)計(jì)
3、功率穩(wěn)定運(yùn)行模式
4、預(yù)混合供氣，使用簡(jiǎn)單
5、計(jì)算機(jī)控制

CL7000系列技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	ArF	KrF	XeCl
波長(zhǎng)	193 nm	248 nm	308 nm
管材料	陶瓷
預(yù)電離	火花
標(biāo)準(zhǔn)脈沖能量	250 mJ	400 mJ	300 mJ
平均功率 CL 7020 CL7050 CL 7100	5 W 10 W 20 W	8 W 20 W 35 W	6 W 15 W 25 W
ZD重復(fù)頻率 CL 7020 CL 7050 CL 7100	20 Hz 50 Hz 100 Hz
脈寬	17 ns	20 ns	20 ns
脈沖穩(wěn)定度	sigma < 2%
光斑大小	6 x 20 mm	6 x 21 mm	7 x 22 mm
光束發(fā)散角	1.5 x 4.5 mrad
時(shí)間抖動(dòng)	< 2 ns
尺寸, (重量)	1350L x 375W x 710H мм (170 kg)
冷卻 CL 7020 CL 7050 CL 7100	風(fēng)冷水冷（水流< 1L/min）水冷（水流< 3L/min）
功率 CL 7020 CL 7050 CL 7100	220V / 50Hz, 10А, 不超過1500 VA 220V / 50Hz, 10А, 不超過 1800 VA 380/220V, 50Hz, 10А, 不超過 3500 VA
氣體	1 premix cylinder
控制接口	RS 232, DOS/Windows