波前傳感器發(fā)展史簡介：

        隨著光波波前探測技術(shù)的發(fā)展，各種波前傳感器應(yīng)運而生。一代波前傳感器源于美國 Itek 公司——交流橫向剪切干涉儀，這種橫向剪切干涉儀的光能損失很大，存在2π不定性問題以及結(jié)構(gòu)復(fù)雜等缺點；為了改進(jìn)這一些系列問題，1971年R.夏克（Roland Shack）和B.普拉特（Ben Platt）采用透鏡陣列分割采樣波前和ccd自動測量的技術(shù)發(fā)明了精度更高的夏克哈特曼波前傳感器（Shack-Hartmann wavefront Sensor; SHWFS），夏克哈特曼波前傳感器在波前傳感器的發(fā)展史上具有里程碑的意義，我們也稱第二代波前傳感器。第三代波前傳感器：隨著時代的發(fā)展，更高的分辨率、更高的靈敏度、以及更大的寬動態(tài)范圍成為了新的科技需求，Shack-Hartmann已不滿足于當(dāng)前的測試要求；此時，Phasics公司應(yīng)運而生，它所推出的SID4系列波前傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單緊湊、更大動態(tài)探測范圍、防震性能強。超高分辨率、高靈敏度（亞納米）和寬動態(tài)范圍（數(shù)百微米）。

SID4-Fast KHZ頻率 超高速高分辨率（兩用）波前傳感器的主要特性：

?具有幀率7 500 fps(全光圈)

?10800 FPS (16 × 16mm2光圈)

?實時處理頻率1hz(全分辨率)

?采集時間6.7 s(全分辨率）

產(chǎn)品應(yīng)用：

?激光工業(yè)

?天文

?航空航天

?國防

?以及透鏡和晶圓的表面面型檢測

SID4-Fast KHZ頻率 超高速高分辨率（兩用）波前傳感器測試結(jié)果部分展示：

?超表面及超透鏡測量

?鏡頭及組件測試