EM-AFM可在SEM中同時提供原子力顯微鏡成像和納米機械測量。它綜合了這兩種技術的優點，可高速獲得高分辨率的三維圖像，并且在微納米和亞納米尺度上實時觀察納米級力的相互作用，與常規SEM/FIB兼容，并與EDS, EBSD, WSD兼容。

主要功能

EM-AFM可在SEM中同時提供原子力顯微鏡成像和納米機械測量。它綜合了這兩種技術的優點，可進行形貌掃描、3D成像、納米壓痕/納米拉伸測試等。

技術特點

同時獲得AFM和SEM成像

與主流掃描電鏡完全兼容

樣品更換簡單

高分辨率形貌掃描

用納米壓痕法測量納米力

操作穩定性高，不受SEM電子束干擾

真空載鎖兼容

三、應用