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全自動顯微鏡 NX-HDM 全自動缺陷檢測原子力顯微鏡

品牌：納騰
型號： NX-HDM
產地：上海徐匯區
供應商報價：面議

上海納騰儀器有限公司更新時間：2025-03-17 17:30:12

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業執照

同類產品原子力顯微鏡(16件)

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產品特點

對于工程師來說，識別介質/平面基底的納米級缺陷的任務是一個非常耗時的過程，Park NX-HDM原子力顯微鏡系統可以自動缺陷識別，通過與各種光學儀器的聯用可以提高缺陷檢測效率。

詳細介紹

對于工程師來說，識別介質/平面基底的納米級缺陷的任務是一個非常耗時的過程，Park NX-HDM原子力顯微鏡系統可以自動缺陷識別，通過與各種光學儀器的聯用可以提高缺陷檢測效率，越來越多的行業需要超平的介質和基板來滿足不斷縮小的設備需求，Park NX-HDM原子力顯微鏡系統具有業界低0.5埃噪音，并將與其真正的非接觸式模式相結合實現亞埃級表面粗糙度的測試。

基本技術參數

200 mm電動XY平臺	電動Z平臺	噪音
行程可達150mm x 150mm, 2 μm重現性 0.095nm分辨率	25 mm Z行程距離 0.1μm 分辨率小于1μm 重現性	小于 0.5 μm/s
尺寸&重量	控制箱	設備需求環境
880（w）x 880（d）x 880（h） 620kg	600（w）x 900（d）x 1330（h） 170kg	室溫10 ℃~40 ℃ 操作18 ℃~24 ℃ 濕度 30%~60%

主要功能

1) 快速自動缺陷檢測功能

2) 亞埃級表面粗糙度的測量

3) 有小的熱漂移，自動分析測量的數據

4) 在線監測測試過程，

應用

自動檢測缺陷

相關文獻

Foucher; R Therese; Y. Lee; S.-I. Park; S-J. Proc. SPIE 8681,Metrology, Inspection, and Process Control for MicrolithographyXXVII, 868106 (April 18, 2013); doi:10.1117/12.2011463