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KURATECA LS-400 主動式防震臺
KURATECA LS-400 主動式防震臺產品介紹:
KURATECA LS-400 主動式防震臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供主動隔振性能(從0.5Hz開始)。KURATECA LS-400 主動式防震臺廣泛用于蔡司、萊卡、日立、日本電子等品牌的大型電子顯微鏡隔振,以及半導體設備、大型干擾儀、電子天平精密設備隔振。LS-400主動式防震臺通過抵消干擾測量破壞性的低頻振動噪聲,幫助用戶從儀器中獲得更多信息。
KURATECA LS-400 主動式防震臺產品特點:
防震范圍1to200Hz
被動防震模式≥200Hz
隔離來自六個自由度的振動
無低頻共振
壓電傳感器和驅動器
內部反饋回路阻尼諧振
緊湊,模塊化的設計
安裝方便,無需長期維護
安裝后基本不改變顯微鏡的整體輪廓
為每臺電鏡做單一的定制
KURATECA LS-400 主動式防震臺測量原理:
KURATECA LS-400 主動式防震臺通過傳感器實時監測外部振動信號,并將數據傳輸至控制器。控制器根據振動波形生成反向作用力,由執行器施加與振動相位相反的力,實現動態抵消,大幅度抑制低頻振動及復雜環境干擾。結合被動隔振與主動控制技術,被動系統吸收高頻振動能量,主動系統針對低頻振動進行準確補償,實現全頻段隔振。采用6自由度控制,自適應調節地基振動前饋,抵消多方向振動傳遞。
KURATECA LS-400 主動式防震臺行業應用:
KURATECA LS-400 主動式防震臺廣泛的應用于高負載顯微鏡和其他對低頻振動噪聲敏感的精密型研究儀器。KURATECA LS-400 主動式防震臺最常見的應用是電子顯微鏡,它支持掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡。
光刻設備 | 光譜測量設備 | 高精度計量設備 | TEM |
SEM | 超高真空掃描探針顯微鏡 | EBL | STM |
KURATECA LS-400 主動式防震臺產品參數:
諧震頻率: | None | 隔離起點 | 1Hz |
隔震率2.0Hz: | 90% | 隔震率5Hz: | 97% |
隔震率10Hz: | 99% | 最大隔震率: | 99.8%at70Hz |
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KURATECA LS-400 主動式防震臺實機圖:
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UNICORN α500 低頻消磁系統(EMICancelingSystem,又稱消磁器),DC與AC雙模式主動消磁器,采用高精度純直流測量/反饋/控制電路,適用于改善1000H以下的低頻電磁干擾環境。特別適用于各種電子顯微鏡、光刻機的環境磁場改善,消除低頻電磁干擾。
KURATECA HS華山系列被動式減震臺采用:半膜片式空氣彈簧、整體焊接支架、鐵磁不銹鋼臺面(同OTP臺面)的氣浮隔振光學平臺,整體高度800mm,分為氣浮式支架和臺面兩部分。平臺自帶腳輪,方便移動和調整。這款產品剛性強、穩定性好、隔振效果好、性價比高,適合于對隔振要求較高的環境使用。
KLA iNano 納米壓痕儀可輕松測量薄膜、涂層和少量材料。該儀器準確、靈活,并且用戶友好,可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級測試等多種納米級機械測試。該儀器的力荷載和位移測量動態范圍很大,因而可以實現從軟聚合物到金屬材料可重復測試。模塊化選項適用于各種應用:材料性質分布、特定頻率測試、刮擦和磨損以及高溫測試。KLA iNano 納米壓痕儀提供了一整套測試擴展選項,包括樣品加熱、連續剛度測量、
KLA iMicro 納米壓痕儀可輕松測量硬涂層,薄膜和少量材料。該儀器準確、靈活,并且用戶友好,可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級測試等多種納米級機械測試。可互換的驅動器能夠提供大的動態范圍的力荷載和位移,使研究人員能夠對軟聚合物到硬質金屬和陶瓷等材料做出詳盡及可重復的測試。模塊化選項適用于各種應用:材料性質分布、特定頻率測試、刮擦和磨損測試以及高溫測試。
KURATECA EST-58-450 桌上型主動式隔振臺來自日本馬自達集團下全資子公司KURATECA,是一塊靈活易用的桌上型主動隔振臺,通過針對低頻振動進行補償,實現全頻段隔振。采用6自由度控制,自適應調節地基振動前饋,大幅降低多方向振動傳遞。顯著提升精密儀器(如透射電鏡、光刻機)的測量穩定性。
KURATECA LS-400 主動式防震臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供主動隔振性能(從0.5Hz開始)。KURATECA LS-400 主動式防震臺廣泛用于蔡司、萊卡、日立、日本電子等品牌的大型電子顯微鏡隔振,以及半導體設備、大型干擾儀、電子天平精密設備隔振。LS-400主動式防震臺通過抵消干擾測量破壞性的低頻振動噪聲,幫助用戶從儀器中獲得更多信息。
KURATECA LS-800 主動式防震臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供主動隔振性能(從0.5Hz開始)。KURATECA LS-800 主動式防震臺通過抵消干擾測量的破壞性低頻振動噪聲,幫助用戶從顯微鏡中獲得更多信息。采用了超薄型和模塊化設計,簡化了安裝過程,從而在安裝時不需要專用的起重設備(這個方案適合絕大數的SEM)
KURATECA LS-1200 主動式防震臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供主動隔振性能(從0.5Hz開始)。KURATECA LS-1200 在LS-800的基礎上通過增加隔振模塊的數量可以加大系統的承重。廣泛用于蔡司、萊卡、日立、日本電子等品牌的大型電子顯微隔振,以及半導體設備、大型干擾儀、電子天平精密設備隔振。