產品概述

測定器放置后，數秒丙分析表面的染色程度

PartSens從無塵室的前廳、空氣浴塵室、工作桌、機臺里外、工作服、手袋、甚至墻面。

空氣浴塵室的效果，或者是產品清潔改善效果。

內建無線傳輸功能，方便移動取樣。

出色的實用性 克服顯微鏡下目檢的污染誤差

舊有的表面潔凈度分析方法(空氣粒子計數器)，采用吸入式采樣，并運送到實驗室以顯微鏡檢視。這方法用在采樣5um以上的大型粒子，有重大的缺陷。首先，

1. 大型粒子無法被有效吸入收集。

2. 在搬運到顯微鏡的過程中，有二次污染的先天誤差，

當今無塵室中常見到計算懸浮粒子的光學式粒子計數器,若要將它改用在監控表面附著的粒子，也不是適當的工具。

PartSens創新的直接取樣技術，可以監控粒子污染的發生、PartSens是唯 一被收錄在VDA 19.2"組裝過程的潔凈技術"章節中的潔凈度監控機臺。

重新認識表面污染過程

「堆積」與「接觸移轉」是兩大關鍵

無塵室氣體中，大于5~25um以上的粒子，受重量與氣流的作用，通常會在各處落下并堆積，污染各個表面。粒子一旦附著在表面之后，就很難透過換氣系統再排除。長時間下來，表面粒子堆積將會劣化表面潔凈度。透過接觸移轉，又將擴大污染范圍。

PartSens的使用情景

重新檢視清潔流程 落實真正的潔凈

環境中的大型粒子，只有透過有效的清掃才能除去。所謂有效的清掃，是指經過最 佳化設計的清掃方法。達成最 佳化，就必須在各地點、各表面，設定[目標清潔度」*「目標清潔度」=風險粒子數/cm2

執行步驟:

1.以PartSens來評估現有流程，并加入實驗性的改變，機動的調整工具、方法、人數、時間、頻率等等因子，得到最 佳流程。

2.將流程標準化，并落實人員訓練。

3.以PartSens依據“目標清潔度"，做日常監控。

除了上述步驟，也可以活用「針對服裝、手套做檢查」「搬運工具的檢查」「針對機臺做特定區域檢查」這一類的發想，來實現必要的潔凈。

在評估制造環境的表面潔凈度時，部分傳感器可以“就地量測、馬上判讀”這就是最 具功效的應用方式。

全面數據化管理

可以針對：粒子大小、粒子種類，做交叉排列分析。充分的原始數據，是徹底改善潔凈度的重要一步

粒子分類與可檢出尺寸

非金屬<5μm ~ >3000μm

金屬<25μm ~ >3000μm

纖維<50μm~>3000μm

不受局限的量測方式

PartSens 革新了昔日“先取樣、再搬運、后判讀”的模式，而是采用創新的“取樣即判讀”方式。

得力于內建電池與無線傳輸，它具備了移動監控的能力。只需在充電時，置入主機即可。

PartSens 被歐洲品質規格 VDA19.2《組裝過程的潔凈技術》唯 一收錄，也是符合 ISO14644 - 9 規格與原理的潔凈度監控設備。

PartSens 符合 VDA19.2 所要求的直接或間接測定原則，也符合 ISO14644 - 9 所要求的斜射光系統（glancing light system）。

如圖所示，測定器先遮蔽外部光線，接著從鑒定區域的左右 LED 入射入光線。異物反射光經由透鏡匯聚到 CCD 相機進行判讀。只需幾秒鐘的數位化過程后，就能得到粒子的立體外形、大小數量等全部信息。

與其他廠商相比，只能針對判定物與背景的差異做簡單比對，PartSens有很大的技術領先優勢。

若要檢測粗糙（2μm 以上）的表面，搭配專用的取樣墊片（Tape Lift Pad），也同樣可以完成測定。

產品清單

產品清單

主機：搭載大面積觸控面板

測定器：無線通信，操作便利

打印機(選購)：若需要打印測定結果，可選購專用的藍牙打印機

取樣墊片(選購耗材)：可選擇專用的取樣墊片(fapeLiftpad)，來鑒定各個場合的潔凈度。從待測對象上取樣污染粒子后放上專用臺，開始直徑大小為 36mm，在人員進入氣浴除塵室(airshower)之前、后，或采集無塵服的表面，可以協助評價污染防 治對策。在輕度的粗糙面，粒子有效移轉率更高達 99%!