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EVG50全自動(dòng)晶圓鍵合系統(tǒng)

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EVG50(全自動(dòng)獨(dú)立工具)和在線計(jì)量模塊(集成在EVG的大批量制造系統(tǒng)中)采用不同的測(cè)量方法,為大量應(yīng)用提供高精度的高速測(cè)量。
該工具的應(yīng)用范圍涵蓋多層厚度測(cè)量,用于確定中間層的總厚度變化(TTV)、焊接界面檢查以及抗蝕劑厚度測(cè)量,并滿足產(chǎn)量驅(qū)動(dòng)的半導(dǎo)體行業(yè)最苛刻的要求。

特征

  • 具有行業(yè)領(lǐng)先吞吐量和分辨率的多層計(jì)量

  • 多層厚度映射

  • 粘合界面檢查

  • 低接觸邊緣處理

  • 無粒子

  • 正面和背面全區(qū)域無障礙

  • 自我校準(zhǔn),提高系統(tǒng)重現(xiàn)性和生產(chǎn)效率

  • 各種輸出格式

  • 100%生產(chǎn)檢驗(yàn)


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