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EVG50全自動(dòng)晶圓鍵合系統(tǒng)
- 品牌:奧地利EVG
- 型號(hào): EVG50
- 產(chǎn)地:歐洲 奧地利
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià):面議
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深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司
更新時(shí)間:2025-08-11 07:49:07
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銷售范圍售全國
入駐年限第4年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品光刻機(jī)(12件)
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詳細(xì)介紹
EVG50(全自動(dòng)獨(dú)立工具)和在線計(jì)量模塊(集成在EVG的大批量制造系統(tǒng)中)采用不同的測(cè)量方法,為大量應(yīng)用提供高精度的高速測(cè)量。
該工具的應(yīng)用范圍涵蓋多層厚度測(cè)量,用于確定中間層的總厚度變化(TTV)、焊接界面檢查以及抗蝕劑厚度測(cè)量,并滿足產(chǎn)量驅(qū)動(dòng)的半導(dǎo)體行業(yè)最苛刻的要求。特征
具有行業(yè)領(lǐng)先吞吐量和分辨率的多層計(jì)量
多層厚度映射
粘合界面檢查
低接觸邊緣處理
無粒子
正面和背面全區(qū)域無障礙
自我校準(zhǔn),提高系統(tǒng)重現(xiàn)性和生產(chǎn)效率
各種輸出格式
100%生產(chǎn)檢驗(yàn)
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