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XUV多層膜寬帶反射鏡
- 品牌:日本NTT
- 型號: XUV
- 產地:亞洲 日本
- 供應商報價:面議
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武漢東隆科技有限公司
更新時間:2025-08-04 13:52:00
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銷售范圍售全國
入駐年限第6年
營業執照已審核
- 同類產品 EUV/XUV光學元件(7件)
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產品特點
- 基板形狀:平面、凸形、凹形、拋物面、超環面、橢圓面
基板材料:石英、硅、zero dewer等
多層膜材料:Mo/Si(50eV至100eV)、Ru/Si(50eV至100eV)、Zr/Al(50eV至70eV)、SiC/Mg(25eV至50eV)、Cr/C(至300eV)等
基板尺寸:φ3毫米至φ300毫米(標準值為1英寸) 詳細介紹
- 產品特點
Mo/Si多層反射鏡具有接近13納米(90電子伏)波長的高反射率。NTT-AT公司的Mo/Si多層反射鏡具有高達70%的正入射反射率。
NTT-AT公司的XUV反射鏡的材料、膜結構和基板形狀可以定制以滿足用戶有關中心波長和光學裝置的需求。
主要應用天文學
XUV光電子光譜
XUV顯微
EUV光刻
等離子體物理
阿秒科學
參數