CDG025D電容膜片式真空計377-001

INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計是高精度溫度補償型真空計設計用于在嚴酷的制造工具環境中具有穩定的性能. 數字電子學提高真空計的性能和提供容易操作的特點如一鍵調零的功能和設點調整. 抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供的零點穩定性, 以及引起能達到數百萬次壓力循環包括大氣沖擊的長的使用壽命.獨特的傳感器屏蔽保護真空計防止過程污染. 經久耐用的機械結構和數字電子學提高 EMC 兼容性, 長期穩定性和溫度補償能力. CDG025D 為加電源后的快速穩定性和暴露大氣后的快速恢復性設定新的標準.

優勢：

全量程范圍從100毫乇 … 1000乇

加電源后快速穩定性

從大氣壓的快速恢復性

抗腐蝕的陶瓷傳感器

長期訊號穩定性

溫度補償

傳感器有防污染保護

一鍵調零功能

寬范圍電源

兩個設點 (可選)

RS232 接口 (可選)

用途：

半導體制造設備用于刻蝕, CVD, PVD, ALD

數據貯存和顯示器制造設備

工業真空設備

一般高精度壓強測量

訂貨號：

CDG025D電容膜片式真空計 10Torr  DN 16 ISO-KF  377-001