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準分子激光器ATLEX-LR

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產品特點

ATL 提供ATLEX、專用于FBG 刻寫的ATLEX-FBG 系列,低負荷的ATLEX-LR 系列,以及非常緊湊的ATLEX-S 系列。

詳細介紹

德國ATL Lasertech 公司專業生產小型化、高重頻、短脈沖準分子激光器。
主要應用于:
? 眼科手術
? 玻璃及塑料微加工
? 微制造
? 激光剝蝕
? TOF 質譜
? FBG 刻寫
ATL 提供ATLEX、專用于FBG 刻寫的ATLEX-FBG 系列,低負荷的ATLEX-LR 系列,以及非常緊湊的ATLEX-S 系列。
產品采用一系列獨到的設計以滿足工業級應用需求:
? 軟電暈預電離
? 全固態高壓脈沖發生器
? 激光頭容積 < 3L
? 全金屬- 陶瓷管路
? 集成真空泵及鹵素過濾器
? 全風冷,主動熱管理
? RS485,RS232,USB 以及光纖接口
? 可沖洗光具座
? 能量穩定模式

ATLEX-LR 系列準分子激光器
ATLEX-LR 系列適合低負荷使用,專門為激光剝蝕(Laser Ablation) 設計。激光為193nm 輸出優化,同時具有非常快的上升沿和高峰值功率。

增益介質

ArF

波長 (nm)

193

高壓開關技術

固態開關

ZG脈沖能量 (mJ)

12

能量穩定選項輸出 (mJ)

10

脈沖寬度 (ns)

5

光束尺寸 (mm)

4×6

光束發散角 (mrad)

1×2

能量穩定性 (rms)

3%

外形尺寸 (mm, L×W×H)

540×470×300

技術資料

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