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硅晶圓檢測儀SIT-200
- 品牌：日本Alnair Labs
- 型號/貨號： SIT-200/SIT-200
- 產地：亞洲 日本
- 供應商報價：面議
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北京先鋒泰坦科技有限公司
更新時間：2025-08-06 09:37:24 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業執照已審核
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產品特點
- SIT-200 硅晶圓檢測儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器，利用干涉計量的方法設計制造的用于硅晶圓厚度檢測的干涉儀。與常規測厚采用寬帶光源不同，可調諧激光器具備很高的功率譜密度，從而提高了測量的動態范圍，因此，SIT-200 支持非拋光的晶圓測量，例如在濕刻過程中以及濕刻之后的晶圓。
詳細介紹
- SIT-200 硅晶圓檢測儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器，利用干涉計量的方法設計制造的用于硅晶圓厚度檢測的干涉儀。與常規測厚采用寬帶光源不同，可調諧激光器具備很高的功率譜密度，從而提高了測量的動態范圍，因此，SIT-200 支持非拋光的晶圓測量，例如在濕刻過程中以及濕刻之后的晶圓。? 全光學，非接觸式晶圓厚度傳感? 高動態范圍，可測量不規則表面? 支持濕刻制程中實時測量? 高靈敏度、高準確度、高速度? 遠程控制測量原理
技術指標可測樣品
硅晶圓
可測厚度范圍
10 - 500 (n=3.5)
m
精密可調諧激光
1515 - 1585
nm
光功率
0.6
mW
指引光
紅色，Class 1M
測量時間
最短 20
ms
可重復性
<0.1 (3-σ)
m
監控輸出
干涉信號輸出
PC 界面
Ethernet
精密掃頻激光光源以高速度調諧激光波長。樣品前、后表面反射的激光的干涉信號經過PD 探測后，根據波長- 干涉信號強度的關系即可得到晶圓厚度。
滬公網安備 31011502008050號