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OPTM 半導體膜厚測試儀

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產品特點

測量目標膜的JD反射率,實現高精度膜厚和光學常數測試! (分光干渉法)

詳細介紹

特長 Features
· 膜厚測量中必要的功能集中于頭部
· 通過顯微分光高精度測量JD反射率(多層膜厚、光學常數)
· 1點只需不到1秒的高速tact
· 實現了顯微下廣測量波長范圍的光學系(紫外~近紅外)
· 通過區域傳感器控制的安全構造
· 搭載可私人定制測量順序的強大功能
· 即便是沒有經驗的人也可輕松解析光學常數
· 各種私人定制對應(固定平臺,有嵌入式測試頭式樣)

測量項目 Measurement item
· JD反射率測量
· 膜厚解析
· 光學常數解析(n:折射率、k:消光系數)


構成圖

半導體膜厚測試儀OPTM 式樣Specifications
※ 上述式樣是帶有自動XY平臺。
※ release 時期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3預定2016年9月。
* 膜厚范圍是SiO2換算。

技術資料

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