型號 | PM-60LN | PR-60LN | |
控制系統 | 控制方式 | 全自動控制（自動/手動切換） | |
PLC（標配）/PC（可選） | |||
操作系統 | Windows 10 | ||
觸摸屏 | 7寸 | ||
整機規格 | 尺寸 | W760×D1050×H1700mm | |
腔體 | 尺寸 | W400×D400×H400mm | |
材質 | 鋁合金（標配）/不銹鋼（可選） | ||
電極 | 尺寸 | W390×D317mm | |
層數 | 1-7層，可選 | ||
托架 | 材質 | 鋁合金（標配）/不銹鋼（可選） | |
層數 | 1層 | ||
真空計 | 皮拉尼式真空計 | 1個 | |
流量計 | MFC | 2個；Ar、N2、O2（可選） | |
真空泵 | 機械油式旋片泵 | 1套 | |
發生器 | 中頻/射頻 | 40KHz，0~1000W | 13.56MHz，0~500W |
額定功率 | 整機峰值功率 | 3KW | |
機臺供電 | 三相五線式 | AC-380V | |
選購品 | 干式泵、氣浴電極（打孔）、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機、模溫機、非標法蘭、陶瓷緊固件 | ||
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報價：￥800000
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已咨詢645次等離子去膠清洗及灰化系統
1.頻次高，可精細化清洗，多應用于先進封裝和晶圓極封裝； 2.等離子腔內360度運動，清洗徹底； 3.等離子密度大，同等時間內清洗效果好。 4.腔內無電極 5.可反復清洗，不傷產品。
高精度、快響應、操控性、兼容性好、功能完善、專業。
小型等離子去膠機清洗機能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。本產品配備觸摸屏控制，操作更便捷，更智能。
Plasma清洗機，觸摸屏控制，該清洗機內置高純石英倉體，有效容積為500ml，結構為國際上的通用的真空石英法蘭密封結構。
表面處理效果好 處理產品廣 改性效果強
真空室自動開關，一鍵式啟停，操作簡單方便 真空室內置張力控制系統，穩定材料漲縮，使處理更加平穩 高性能等離子發生器，激發更為穩定之等離子體 水平電極結構設計，更適合柔性材料 采用中通水冷電極，真正實現過程溫度控制，均衡均一 獨特的卷曲設計，解決卷式材料穿料問題，牽引材料更便捷 精確速度控制，精準控制速度的同時，實現恒張力恒速度
觸摸屏操作界面 數字及圖標多重工藝參數實時顯示 三色燈異常報警功能 自動/手動操咋作模式切換 可存儲多套工藝配方 遠程操控，數據導出（可選） 特殊電極、氣路設計，均勻性好 平板式、滾輪式載具平臺（可選） 適用半導體封裝引線框架的批量處理
觸摸屏操作界面 數字及圖標多重工藝參數實時顯示 三色燈異常報警功能 自動/手動操作模式切換 可存儲多套工藝配方 遠程操控，數據砸導出（可選） 模塊多樣化選擇 多層托架可選，處理量大
營業執照已審核
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滬公網安備 31011502008050號