450型電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)用于制備導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜等,廣泛應(yīng)用于大專(zhuān)院校、科研機(jī)構(gòu)的科研及小批量生產(chǎn)。
產(chǎn)品名稱(chēng) | 450型電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng) | |
產(chǎn)品型號(hào) | 450型電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng) | |
主要參數(shù) | 系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。 技術(shù)指標(biāo): 極限真空度:≤6.7×10 Pa 恢復(fù)真空時(shí)間:從1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min 系統(tǒng)漏率:6. 7×10-7Pa.L/S; 真空室:真空室500x500 x600mm采用U型箱體前開(kāi)門(mén),后置抽氣系統(tǒng)e型電子槍?zhuān)宏?yáng)極電壓:6kv、8kv(1套) 坩堝:水冷式坩堝,四穴設(shè)計(jì),每個(gè)容量11ml 功率:0-6KW可調(diào) 電阻蒸發(fā)源(可選) 電壓:5、10V 功率:電流300A,ZD輸出功率3Kw1套,可切換水冷電極3根,組成2個(gè)蒸發(fā)舟 基片尺寸:可放置4″基片 樣品臺(tái):基片可連續(xù)回轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速5-60轉(zhuǎn)/分基片與蒸發(fā)源之間距離300-350mm加熱ZG溫度 800°C±1°C,可調(diào)手動(dòng)控制樣品擋板組件1套 氣路系統(tǒng):質(zhì)量流量控制器1路 石英晶振膜厚控制儀:監(jiān)測(cè)膜厚顯示范圍:0-99μ9999?
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報(bào)價(jià):面議
已咨詢168次蒸發(fā)鍍膜
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已咨詢1882次薄膜半導(dǎo)體材料制備系統(tǒng)
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已咨詢12次Syskey 臺(tái)灣
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已咨詢392次鍍膜
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已咨詢9次Syskey 臺(tái)灣
報(bào)價(jià):¥1000000
已咨詢72次電阻電子束沉積
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已咨詢9次鍍膜沉積系統(tǒng)
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已咨詢56次沉積設(shè)備
鑲嵌壓力、溫度、時(shí)間可任意調(diào)整,隨材質(zhì)的不同變化 進(jìn)料-鑲嵌-加熱-冷卻-出樣全自動(dòng)化運(yùn)行 出樣定位精準(zhǔn),可搭配本公司全自動(dòng)磨拋系統(tǒng)或其他自動(dòng)化設(shè)備聯(lián)動(dòng)
包含定位載料盤(pán)、研磨拋光單元、清洗單元以及供料單元,可以實(shí)現(xiàn)從取樣-研磨-清洗-拋光-清洗一體的全程序化自動(dòng)流程,通過(guò)觸摸屏操作可精確控制鑲嵌到磨拋、清洗的所有參數(shù),并能進(jìn)行參數(shù)設(shè)定存檔,并可一鍵啟動(dòng)
UNIPOL-1500M-16自動(dòng)壓力研磨拋光機(jī)主要用于材料研究領(lǐng)域。適用于金屬、陶瓷、玻璃、紅外光學(xué)材料(如硒化鋅、硫化鋅、硅、鍺等晶體)、巖樣、礦樣、復(fù)合材料、有機(jī)高分子材料等材料樣品的自動(dòng)研磨拋
UNIPOL-1502AT自動(dòng)精密研磨拋光機(jī)適用于各種材料的研磨與拋光,本機(jī)設(shè)置了?381mm的研磨拋光盤(pán)和三個(gè)加工工位,可用于研磨拋光≤?110mm的平面。UNIPOL-1502自動(dòng)精密研磨拋光機(jī)若
至多可選配四個(gè)靶槍?zhuān)涮咨漕l電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜(靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換)。 可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。 體積小,操作簡(jiǎn)便。 整機(jī)模塊化設(shè)計(jì),真空腔
適用于難熔金屬(鎢、鉬、鋯、鉿、鉭、鈮、鈦、錸、鈹)等合金的熔煉。
VTC-1HD-Z F2高真空磁控濺射蒸發(fā)鍍膜儀是多功能高真空鍍膜設(shè)備,含單靶磁控濺射儀可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜
UNIPOL-1210S自動(dòng)壓力研磨拋光系統(tǒng)主要用于材料研究領(lǐng)域。適用于金屬、陶瓷、玻璃、巖樣、礦樣等材料樣品的自動(dòng)研磨拋光,也可用于工廠的小規(guī)模生產(chǎn)。該機(jī)具有加工精度高,性能穩(wěn)定可靠,操作簡(jiǎn)單,適用