產品型號

1100℃多工位管式爐GSL-1100X-S

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風裝置：需要

技術參數

1、電壓：AC220V, 50Hz

2、ZD功率：1.5KW

3、加熱區：300 mm

4、工作溫度: 1000℃

5、ZG溫度: 1100℃（小于30min）

6、推薦升溫速率:≤10℃/min

7、爐管尺寸及材質

石英管Φ50×610mm。

包括氧化鋁管堵用于阻止來自內部管子的熱輻射。（管堵在加熱前必須完全插入爐腔）

8、溫控系統

全自動PID自整定功能

30 段可編程控制器，方便客戶按自己要求設定升溫曲線

設有超溫及斷偶保護

控溫精度: ±1 ℃

K型熱電偶

9、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金

10、密封法蘭及真空連接

不銹鋼密封法蘭(左端進氣 口為1/4”軟管接口, 右端抽氣口為KF-25接口)

標準的1/4“帶針閥的 寶塔嘴接口

為了可以使用高壓氣體，您可以用1/4＂軟管接頭替換標準寶塔嘴管接頭

11、真空系統

包括雙旋片機械泵(220V, 226 L/m) 油霧過濾器& KF-D25不銹鋼真空波紋管和KF25 卡箍

真空度可達到1E-2 Torr ( 50 m-torr)（參考值）

分子泵：1E-5 Torr（參考值）

12、壓力測量/檢測：機械式壓力表，測量壓力范圍為-0.1至0.15Mpa。

產品規格

260×380×400 mm (D x H x W)

重量：45Kg

可選配件

1、 石英管堵（可提高爐管內部真空度及潔凈度）。

2、歐陸型溫控儀表，控溫精確度可以提升到±0.1℃（具體詳情請致電我公司銷售）。

3、兩種不銹鋼法蘭可供選擇：

2"默認法蘭，帶1/4”寶塔嘴接頭，1/4＂管通孔（用于1/4＂外徑熱電偶插件）和KF25真空接

1＂法蘭沒有熱電偶插頭

4、擋板閥連接真空系統

5不銹鋼波紋管（為了獲得更快更好的真空度，我們推薦使用）

6、快速連接法蘭

7、帶有數顯真空計和機械泵系統的爐子

8、KF25轉接頭替換標準寶塔嘴接頭（為了達到高真空）

1英寸法蘭 2英寸法蘭

9、真空連接：

本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。

KF25不銹鋼波紋管

KF25快速裝卸卡箍

10、真空系統

應用注意事項

爐管內氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公 司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊