真空鍍碳儀

廠家

型號(hào)：TZZN-1000C

注明：桌面型蒸鍍碳層，減少因樣品鍍層對(duì)X射線能量譜儀做元素分析時(shí)的能量損失，可以選擇蒸發(fā)碳繩和蒸發(fā)碳棒兩種方式。

技術(shù)規(guī)格說明

樣品倉尺寸：φ150mmX110mm

蒸發(fā)面積：約Φ140mm

真空度：≤4×10-2mbar

工作電壓：220V,50HZ

蒸發(fā)輸出：電壓30V

蒸發(fā)靶材：碳棒、碳繩

蒸發(fā)電流：約100A

理想膜層的特點(diǎn)

1.良好的導(dǎo)熱和導(dǎo)電性能。

2.不管樣品的表面形貌如何，覆蓋在所有部位的膜層需要薄厚均勻。

3.膜層對(duì)樣品的化學(xué)成分干擾很小，對(duì)從樣品中發(fā)射的X射線強(qiáng)度影響很弱。

4.這層膜主要增加樣品表面的導(dǎo)電性能和導(dǎo)熱性能，相較于導(dǎo)電金屬膜層的厚度普遍在10nm以上；可提供碳的鍍層，在3-4nm分辨率尺度內(nèi)不顯示其幾何形貌特點(diǎn)，避免引入不必要的人為圖像，鍍層精細(xì)均勻，適合非常粗糙的樣品，高分辨研究。

5.可以噴碳（碳棒或碳繩），有利于對(duì)樣品中非碳元素的能譜分析。

6.非導(dǎo)電樣品觀察背散射電子圖像，進(jìn)行EBSD分析，也應(yīng)該噴碳處理。

主要用于掃描電鏡 EDS 樣品鍍導(dǎo)電膜 ，儀器操作簡單方便，是配合SEM 制樣的儀器。

TZZN-1000C熱蒸發(fā)鍍碳儀

使用說明書

 設(shè)備外觀僅供參考，以實(shí)物為準(zhǔn)）

特點(diǎn)：

1.熱蒸發(fā)儀是將碳繩連接在真空中的兩個(gè)電極上，為了避免碳在空氣中加熱燃燒；

2.特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品蒸鍍/濺射室的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象；

3.密封高壓頭更經(jīng)久耐用。低真空 4*10-2mbar時(shí)用真空保護(hù)（標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型為結(jié)構(gòu)密封）。

4.碳繩這時(shí)候相當(dāng)于白熾燈的燈絲。“燈絲”的溫度隨著交流電壓的加大而升高。當(dāng)達(dá)到 3000℃ 以上，開始白熾發(fā)光的時(shí)候，大量的碳原子從"燈絲"表面向任意方向發(fā)射。把樣品放在燈絲附近，在樣品表面可以形成致密的碳膜。

5.為了使得樣品不至于被高溫灼燒，蒸碳在瞬間完成（通過調(diào)節(jié)旋鈕延長保護(hù)時(shí)間）。

使用說明書并非質(zhì)量保證書，信息有謬誤支出歡迎更正指導(dǎo)；產(chǎn)品的改進(jìn)，均由本公司隨時(shí)做出解釋，修正內(nèi)容將編入再版使用說明書中。

一、.使用注意事項(xiàng)

■請(qǐng)確保電源插座接觸良好并且保證有可靠接地！

雖然熱蒸發(fā)鍍碳儀的平均電流不大，但瞬時(shí)工作電流可能相對(duì)較高。

■請(qǐng)確保蒸發(fā)鍍碳儀的工作電壓穩(wěn)定、正常！

我公司標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的工作電壓范圍為 ：210V~250V

■電源頻率不匹配會(huì)導(dǎo)致儀器損壞！

儀器的使用頻率為 50HZ。

■禁止私自對(duì)儀器進(jìn)行拆卸改裝！

本產(chǎn)品為精密儀器，拆卸不當(dāng)可能發(fā)生真空系統(tǒng)漏氣、設(shè)備短路等情況，造成儀器損壞和人員傷亡。

■蒸碳儀在不工作時(shí)不要讓真空室一直處于真空狀態(tài)！

真空室一直處于真空狀態(tài)，真空泵進(jìn)氣口處于負(fù)壓，使得泵油倒灌樣品室。

注意：本產(chǎn)品為精密設(shè)備，請(qǐng)勿讓非專業(yè)人士操

作，使用過程中操作人員不得離開現(xiàn)場

二、外形及部件名稱（隨機(jī)變化略有不同）

1.真空表，2.電流表，3.啟動(dòng)按鈕， 4.真空指示燈，5.轉(zhuǎn)換開關(guān)（當(dāng)前為右側(cè)），6.延時(shí)旋鈕，7.電源

樣品室：（可換裝碳棒電極）

1.保護(hù)帽，2.上蓋，3. “凹”型密封圈，4.石英鐘罩，5.碳繩電極，6.擋板，7.底座

1.A/B/C電極，2.真空泵電源，3.接地端子，4.過流保險(xiǎn)，5.220V電源,6.短路指示燈，7.擋板

泵和真空管道

1過濾器，2.電磁閥接頭，3.真空泵排氣口卡箍，4.真空泵加油口，5.真空泵放油口，6.真空泵進(jìn)氣口卡箍，7.自動(dòng)開關(guān)，8.真空管

三、安裝使用說明

儀器的安裝                   

1、打開包裝，檢查儀器是否完好，附件是否齊全

2、清理樣品室，檢查樣品室中是否有異物、粉塵，并清理干凈。

3、把油污過濾器安裝在泵的出氣口，并用 卡箍卡緊。

4、連接真空管道，將 KF16端接儀器，另一端接泵的進(jìn)氣口，并用卡箍卡緊。

5、將電磁閥的電源線和泵的引出端對(duì)插到一起。

6、把泵電源插在主機(jī)后面板的泵電源插座上。

7、將蒸發(fā)上蓋的蒸發(fā)公共端 A、蒸發(fā) B、蒸發(fā) C按顏色對(duì)應(yīng)接在主機(jī)后面板的接頭上。

8、將玻璃鐘罩放在主機(jī)的底盤上，將熱蒸發(fā)上蓋放在主機(jī)的玻璃鐘罩上。

9、將總電源線插上。

 10. 碳繩的更換

1.AB段碳繩，2.AC段碳繩，通過轉(zhuǎn)換開關(guān)選擇

用六角扳手將上蓋的三個(gè)內(nèi)六角螺釘擰松，將碳繩按照BAC或CAB的順序依次纏繞在卡槽中，分別擰緊螺釘，將碳繩剪斷即可。

    前面板的“5.轉(zhuǎn)換開關(guān)”，左側(cè)對(duì)應(yīng)使用的碳繩為AC段，右側(cè)對(duì)應(yīng)使用的碳繩為AB段。

四、技術(shù)規(guī)格說明

樣品倉尺寸：φ150mmX110mm

蒸發(fā)面積：約Φ140mm

真空度：≤4×10-2mbar

工作電壓：220V,50HZ

蒸發(fā)輸出：電壓30V

蒸發(fā)靶材：碳棒、碳繩

蒸發(fā)電流：約100A

五、儀器的使用經(jīng)驗(yàn)

理想膜層的特點(diǎn)

1.良好的導(dǎo)熱和導(dǎo)電性能。

2.不管樣品的表面形貌如何，覆蓋在所有部位的膜層需要薄厚均勻。

3.膜層對(duì)樣品的化學(xué)成分干擾很小，對(duì)從樣品中發(fā)射的X射線強(qiáng)度影響很弱。

4.這層膜主要增加樣品表面的導(dǎo)電性能和導(dǎo)熱性能，相較于導(dǎo)電金屬膜層的厚度普遍在10nm以上；可提供碳的鍍層，在3-4nm分辨率尺度內(nèi)不顯示其幾何形貌特點(diǎn)，避免引入不必要的人為圖像，鍍層精細(xì)均勻，適合非常粗糙的樣品，高分辨研究。

5.可以噴碳（碳棒或碳繩），有利于對(duì)樣品中非碳元素的能譜分析。

6.非導(dǎo)電樣品觀察背散射電子圖像，進(jìn)行EBSD分析，也應(yīng)該噴碳處理。

注意：熱蒸發(fā)功能容易對(duì)樣品產(chǎn)生污染，蒸發(fā)溫度過高（例如碳的蒸發(fā)溫度為3500K)，會(huì)損傷熱敏感材料。

7.真空蒸發(fā)鍍層厚度可以通過下面公式進(jìn)行估算:

T=3/4(M/4πR2ρ)cosθ×10-7（式中2和-7為指數(shù)）

其中:

T(nm)為蒸鍍層的厚度；

M(g)為蒸發(fā)材料的總質(zhì)量；

ρ(g/cm3)為蒸發(fā)材料的密度；

R(cm)為蒸發(fā)源到試樣的距離；

θ(度)為樣品表面法線與蒸發(fā)方面的夾角。

使用說明

1、將蒸發(fā)上蓋放在主機(jī)的玻璃鐘罩上。

2、打開泵開關(guān)（泵的使用說明詳見真空泵使用說明書）。

3、放入樣品后，打開電源開關(guān)，打開總開關(guān)，電源指示燈亮

4、真空表持續(xù)升高，大約20Pa時(shí)限流保護(hù)燈亮，上升至4×10-2mbar時(shí)趨于穩(wěn)定時(shí)可以開始啟動(dòng)蒸碳（真空越高蒸碳的效果越好，所需的等待時(shí)間會(huì)相對(duì)延長，此設(shè)備真空不可調(diào)節(jié)）。

5、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)計(jì)時(shí)器設(shè)定時(shí)間：時(shí)間范圍：0—1秒；旋轉(zhuǎn)鈕設(shè)有8.

5個(gè)擋位對(duì)應(yīng)相應(yīng)的蒸發(fā)時(shí)間。

（注意：單次蒸發(fā)時(shí)間越長對(duì)碳繩和碳棒的消耗越大；擋位的選擇：1-4擋蒸發(fā)碳膜不太明顯，5-7擋及以上擋位，對(duì)應(yīng)的單次蒸發(fā)量沉積在樣品上的碳膜會(huì)有明顯的變化。）

6、設(shè)定好擋位，按住蒸發(fā)“啟動(dòng)/START”按鈕直至?xí)r間結(jié)束。

（注意：選擇高擋位長時(shí)間蒸碳時(shí)，如果多次對(duì)同一樣品蒸碳，因?yàn)榕蛎浵禂?shù)的不同，會(huì)有裂紋或是起皮現(xiàn)象，針對(duì)不同樣品需要摸索不同的蒸碳條件。）

7、蒸碳完畢，關(guān)閉電源，待真空泵上電磁放氣閥放氣結(jié)束后，打開上蓋取出樣品，然后閉合上蓋

8、如果不再進(jìn)行鍍膜，關(guān)斷蒸發(fā)儀電源。

常見故障排除

故障現(xiàn)象判斷與解決方法

1.真空抽不上去：檢查玻璃鐘罩是否放端正，上蓋是否放端正或者沒有蓋好，電磁閥與泵的對(duì)插是否連接好。

2.使用一段時(shí)間檢查濺射室中或管道內(nèi)是否有油，可用汽油、無水酒精、丙酮溶液清洗

3.真空表的指示如有輕微的偏差，不會(huì)影響使用。

4.碳繩是否夾緊、熔斷。蒸發(fā)AB、AC,公共端是否接好

參考圖片：