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儀器網>產品中心> 電子電工儀表>流量儀表>質量流量計>廠家直銷仁荷微電子INHA氣體質量流量計MF-200M

廠家直銷仁荷微電子INHA氣體質量流量計MF-200M

面議 (具體成交價以合同協議為準)
山西仁荷 MF-200M 山西 晉中 2025-08-11 21:19:21
售全國 入駐:9年 等級:認證 營業執照已審核
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核心參數

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產品特點:

MF系列
MF-50/100/200/300/500C MF-100/200/300/500M
有很寬的工作壓力范圍,產品可以從真空直到10Mpa;本產品可以使用多種氣體介質(包括一些腐蝕性氣體,如三氟化硼、三氯化硼、氯化氫、氟化氫等等);有很寬的流量范圍,產品zui小流量范圍可達0~10sccm,zuida流量范圍可達0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~1**%(量程比為50:1)。

——耐高壓(zuida工作壓力可達100bar)
——響應時間快≤1sec
——模擬輸入輸出接口(0-5Vdc或4-20mA可選)
——連接尺寸與其他標準質量流量器兼容
——尺寸小
——連接方便,快拆快擰
——交貨周期短
——優惠的價格極具性價比
——準確率高
——穩定的流量控制
——壓力范圍廣

產品詳情:



中韓合作研發廠家直銷 交貨周期短  各方面成本低 優質的國產質量流量控制器,性能比肩進口

價格實惠優質的性能極具性價比

該產品為定制產品(可特殊定制)價格需電議


山西仁荷微電子科技有限公司主要生產INHA氣體質量流量控制器,氣體流量計。 本公司生產的氣體質量流量控制器廣泛應用工業氣體、石油、化工、醫療、電子及微電子、半導體、太陽能光伏、各類實驗室、研究所、生物醫藥、標準檢測等各類高新技術領域。如:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。

產品優勢
本公司自主開發研制的產品質量流量計,是一種先進的智能精密質量流量測量儀表。可直接用來測量管道中介質的質量流量及總量、體積流量及總量、介質的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數。 該流量計即使在惡劣的工作環境下也能表現出優異的性能。對工況條件也沒有苛刻的要求。具有抗干擾能力強,測量精度高、量程比大、工作穩定可靠、對安裝要求低、對流體狀態要求低,壓力損失小等優點,且易清洗、具備自排空功能;其基本技術指標已達到國際先進水平, 每臺傳感器都由不銹鋼材料制造,變送器的多種輸出能滿足您的各種需求。


MF系列

MF-50/100/200C   MF-100/200M

主要技術指標

編號 項目 MF-200C MF-200M

1 流量規格(N2) 10sccm~30slpm 

2 準確度 ±1%F.S(Full Scale)

3 重復精度 ±0.25%F.S(Full Scale)

4 響應時間 ≤2sec(特別要求時:≤1sec)

5 耐壓 ≤90bar

6 工作環境溫度 0℃~50℃

7 輸入輸出信號 0~5V 0~5V or 4~20mA

8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA

9 漏率 1×10atm.cc/sec

10 使用范圍 2~100%滿量程

公司電話:0354-3998189  我的聯系方式:田經理 18234418230   email:1939255606@qq.com 

  公司網址:  http://www.inha.tech  微信關注:1082832720.jpg



MFC使用基本示意圖.png

  1. 用途和特點
       氣體質量流量控制器(MFC)在石化工業、生化、半導體和集成電路工業、特種材料學科、醫藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的場合包括:電子工藝設備,如:氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應裝置、混氣配氣系統、真空鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。

工作原理
?流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。
?將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較,再將差值信號放大后去控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
?分流器決定主通道的流量。
?與之配套的流量顯示儀上設置有穩定電源,3位半數字電壓表,設定電位器,外設、內設轉換和三位閥控開關等。
?控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質量成正比,滿量程(F.S)流量檢測輸出電+5V。氣體質量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S(程比為50:1)

如圖:

工作原理.png

?

結構

氣體質量流量計由流量傳感器(Sensor),分流器通道和流量放大電路等部件組成;在氣體質量流量計的基礎上,再加上調節閥門和PID控制電路就構成了氣體質量流量控制器。

MF-200.png


技術問答:

什么是質量流量計?什么是質量流量控制器?
質量流量計,即Mass Flow Meter(縮寫為MFM), 是一種精確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。
質量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。
什么情況下用質量流量計, 什么情況下用質量流量控制器 ? 
一般而言,僅對流量進行計量或監測時,用質量流量計;需要對流量進行控制時,用質量流量控制器。某些測量場合,用二者皆可,如對毛細管流通能力的測量,當定壓測流的時候, 用質量流量計; 當定流測壓時, 需要用質量流量控制器。注意, 當質量流量控制器處于清洗狀態時, 也可以當質量流量計使用, 只不過氣壓降要比普通質量流量計大一些。
5.  質量流量計 / 質量流量控制器的主要優點是什么? 
(1)  流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。
對于多數流量測控系統而言,很難避免系統的壓力波動及環境和介質的溫度變化。對于普通的流量計,壓力及溫度的波動將導致較大的誤差;對于質量流量計 / 質量流量控制器,則一般可以忽略不計。
(2)  測量控制的自動化
質量流量計 / 質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示﹑累積流量自動計量﹑數據自動記錄﹑計算機管理等。對質量流量控制器而言,還可以實現流量的自動控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制。
(3)  精確地定量控制流量
質量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用 
 
選擇產品和訂貨時應當注意什么?
這一點關系到用戶的切身利益,涉及的問題也比較多,因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀的回答。
(1) 注意選擇正確的品牌
一般應當全面衡量生產廠家的產品質量﹑銷售價格﹑售后服務﹑技術水平﹑產品特點﹑生產規模﹑企業信譽等因素。
(2) 注意選擇正確的量程
A. 將您需要的流量換算成標準狀態下的流量(質量流量)。
B. 根據廠家提供的質量流量轉換系數表,將您所用氣體的質量流量值換算成與氮氣(標定氣體)等價的質量流量值。如果您希望按您實際使用的氣體標定,請向廠家說明。有關質量流量轉換系數的問題,以下還有進一步解答。 
C. 確定所需標準量程。廠家一般有自己的各種規格的標準量程,您實際使用的流量最大值應接低于某個標準量程值。標準量程的選取要避免過大或過小。質量流量的誤差指標是按滿量程值的百分比規定的,如果實際流量較小而量程值選取過大,則測量值的相對誤差較大。 
(3) 注意選擇正確的工作壓力指標
不同的產品工作壓力指標可能不同,注意選擇適合自己的產品。
質量流量控制器(MFC)除最大工作壓力之外,還有另一項工作壓力指標:工作壓差,即MFC進氣端和出氣端之間的壓差,選型時要注意,使用時也要注意。
(4) 注意選擇合適的精度指標
準確度﹑線性﹑重復精度是比較重要的幾項指標,其中重復精度在很多應用場合尤為重要。指標不一定追求最高,應考慮自己的實際需要。
如果對廠家給出的指標不放心,有條件的用戶也可以自己標定一下。標定的方法參見下面的有關內容。
(5) 注意選擇合適的響應時間指標
有的應用系統對MFC的響應時間有較高的要求,用戶應根據自己的情況加以考慮。在考慮響應時間指標的同時,還應注意其響應過程及動態特性。
(6) 注意對安裝位置有無要求
有的廠家的產品要求必須水平位置安裝。
(7) 注意使用氣體和適用范圍
MFM/MFC 對使用的環境及介質溫度﹑氣源壓力﹑介質(特別是使用對腐蝕性氣體)情況等均有一定適用范圍,請注意閱讀說明書或向廠家咨詢。
(8) 注意接頭形式
通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于高端應用。
(9) 訂貨應注明:
產品名稱、型號、流量規格、標定氣體、使用氣體(特別是腐蝕性氣體)、接頭形式和數量





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