· 大功率X光源和浸入式磁透鏡設計以獲取ZG的檢測靈敏度。

· 大平均半徑的雙聚焦半球能量分析器，可以獲得ZG的譜線能量分辨。

· 二維陣列延遲線檢測器，可以同時記錄光電子的信號強度及其發射位置，亦可以在數秒的時間里獲取完整的XPS譜圖。

· 同源中和器，具備無陰影荷電中和能力，且對于表面凸凹不平的樣品，可實現JZ電荷中和。

· 標配單色化Al陽極，亦可選購單色化的Al/Ag雙陽極，并且單色化陽極靶可以更換多個新鮮靶點，極大地延長了陽極靶的使用壽命。

· 標配進樣室定位光學顯微鏡，可以在進樣預抽真空時定位多樣品的分析位置，然后轉入分析室實施自動分析。