光譜型參比橢偏儀概述

RSE是一種特殊類型的橢偏儀，它通過將參比樣品和被測樣品進行比較，測量它們之間的差異從而對被測樣品進行橢偏分析。在測量過程中沒有任何需要轉動或者調制的光學部件，并且可以在單次測量中獲得完整的、高分辨率的光譜橢偏數據。通常可每秒采集200個光譜數據。通過配備同步的XY二維自動樣品臺可以在數分鐘內測量獲得大面積樣品的薄膜厚度分布圖。

與傳統的橢偏儀或反射儀相比，光譜型參比橢偏儀有什么優點？

• 光譜型參比橢偏儀將橢偏儀的高靈敏度與反射儀的測量速度相結合，甚至超過了它。

• 與激光橢偏儀相比，它包括450至900 nm之間的光譜信息。如果所處理的層的多個參數是可變的，例如厚度和光密度，這一點非常重要的。

• 從事實來說，參比法比絕 對法更敏感。因此，當聚焦非常薄的層時，RSE方法優于傳統的橢偏法。與反射儀測量相比，高薄膜靈敏度的優勢會體現地更加明顯。

  
  

什么是橢偏儀？

橢偏技術是一種非常靈敏的光學方法，百年來一直被用于各種薄膜的光學分析測量。它的基本原理是：當一束偏振光經過樣品表界面反射之后偏振狀態會發生變化。如果樣品表面是一層薄膜（或者多層薄膜堆疊），整個薄膜和基底的光學信息對反射光束的偏振狀態都有影響。因此，通過橢偏方法可以對薄膜的厚度和其他性質進行分析。

光譜型參比橢偏儀是如何工作的？

RSE是一種特殊類型的橢偏儀，它通過將參考樣品和被測樣品進行比較，測量它們之間的差異從而對被測樣品進行橢偏分析。在測量過程中沒有任何需要轉動或者調制的光學部件，并且可以在單次測量中獲得完整的、高分辨率的光譜橢偏數據。通常可每秒采集200個光譜橢偏數據。通過配備同步的X/Y二維自動樣品臺可以在數分鐘內測量獲得大面積樣品的薄膜厚度分布圖。

由于參考補償系統仍然是橢偏儀原理，因此需要將測量數據擬合到光學模型，以獲得光學參數，如折射率和薄膜厚度。為了實現高速的數據處理速度，實現了查找表擬合。在測量之前，將計算一個查找表。然后可以實時且高分辨率地擬合測量數據。