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等離子開封機

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詳細介紹

SAME200.png?

SAME200 是一款用于芯片封裝開封的微波等離子體芯片開封設備。

設備可以刻蝕電介質(氧化硅)和各種聚合物(光刻膠、聚酰亞胺、環氧樹脂)。適用于研發實驗室、FA實驗和小型生產使用。

設備工程師們特別注重系統的用戶友好性能。該系統具備簡單明了的界面,便捷的配方保存功能,無需長期操作培訓,而且對裝置的安裝要求做到了最低標準。


該設備適用于開封包含 Cu、PCC、Ag 等引線的各類先進芯片封裝形式,包括 ED、 SiP、WLCSP、BOAC 等,開封過程對芯片不會造成任何損傷,為集成電路芯片的可靠性和失效分析提供了一種極佳的方案。


系統特點

控制等離子體源輸出功率;

精確控制氣體供應;

記錄流程參數以便進一步分析;

適用于各種塑料封裝;

創建和存儲蝕刻配方;

可對所有類型的引線鍵合進行蝕刻樣品處理

設計緊湊--主機占地面積小于1.0平方米;

 易于操作和維護;

 沒有危險化學品;

 對環境友好;

 觸摸屏顯示;

 選項和附件可按要求定制;



SAME 200 主要技術特點

尺寸:

主體大小

1400 x 580 x 580 mm

反應室

直徑 200 mm, 120 mm

最大試樣尺寸

直徑 160 mm, 高 80 mm

蝕刻區域

15 x 15 mm

電源:

主電源供應

220V, 單相, 50/60 Hz

清潔干燥空氣(CDA)和氣體:

CDA

壓力6巴

Ar, O2, N2, CF4

壓力1-2巴

流量控制 0 – 200 sccm

等離子體源:

輸出功率

0 – 200 Watt

頻率

2.4-2.5 GHz

發生器控制類型

遠程

蝕刻參數:

來源類型

微波誘導等離子體源

蝕刻材料

SiO2, 塑料包裝,光刻膠, 聚酰亞胺,環氧樹脂

蝕刻時間

用戶自定義

蝕刻速度

超過10um/min

配方

無配方數量限制

運行:

配備Windows或Linux操作系統的大型觸摸屏

安全性能:

應急關機系統

等離子體源冷卻:

用冷卻循環系統對等離子體源進行冷卻

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