設備特色
．可同時對應EUV與OPT兩種光罩護膜貼合需求
．高潔凈型6軸機器手臂全自動移載Reticle及Pellicle，配置自動換爪系統
．影像對位補償與貼合站主動式平行度調整機制，確保貼合精度
．貼合精度自動檢驗功能
．特殊光源AOI檢查Pellicle外觀瑕疵
．對應AMHS(SEMI E87，E84)自動取放并自動開盒
性能規格
．貼合后光學變形量<2nm
．貼合精度：±0.1mm
．貼合壓力：0.035～0.4 kN
．超潔凈環境控制能力：Particle >100nm，0 EA
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KAINOVA TECH - 光罩自動化
- 品牌：KAINOVA TECH
- 型號： Kainova Tech
- 產地：臺灣 新竹
- 供應商報價：面議
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香港電子器材有限公司
更新時間：2025-07-25 11:10:27 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業執照已審核
- 同類產品光學及半導體器材(4件)
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產品特點
- ．可同時對應EUV與OPT兩種光罩護膜貼合需求
．高潔凈型6軸機器手臂全自動移載Reticle及Pellicle，配置自動換爪系統
．影像對位補償與貼合站主動式平行度調整機制，確保貼合精度
．貼合精度自動檢驗功能
．特殊光源AOI檢查Pellicle外觀瑕疵
．對應AMHS(SEMI E87，E84)自動取放并自動開盒 詳細介紹
產品介紹：
EUV/OPT 光罩護膜貼合設備 (KAM-201)
EUV/OPT 光罩移載設備 (KAX-311)
設備特色
．依制程指定，執行光罩旋轉、翻面與換盒等作業
．可對應各種光罩盒(RSP150/200/Dual)
．光罩盒充填氮氣，確保盒內保持低濕、低氧與高潔凈度環境
．對應AMHS(SEMI E87, E84)自動取放
．具備Pellicle方向正確性判斷
．自動識別EUV與OPT光罩方向(0/90/180/270, flip/non flip)
性能規格
．超潔凈環境控制能力：Particle >100nm，0 EA
．光罩換盒移載速度：<3 min
滬公網安備 31011502008050號