儀器簡介：

NTEGRA Spectra
是一款獨特的集成了掃描探針顯微鏡、激光共聚焦/熒光顯微鏡和拉曼光譜儀的系統。其強大的TERS效應，可在得到拉曼光譜的同時獲得高達50nm的成像分辨率。
只有NTEGRA Spectra能在軟件、硬件等技術方面為集成Renishaw的拉曼光譜系統提供wan美的方案，以便用戶能在分子水平上用不同的技術手段來分析、研究樣品。這樣的集成，能讓用戶極大的提高工作效率，將更多的時間用于數據采集和分析，而無需為繁瑣的儀器操作而苦惱。所以，可以負責任的說：真正的集成是遠遠優于簡單的組合的。

激光共聚焦顯微鏡/拉曼光譜儀系統
NTEGRA Spectra 系統集成了激光掃描共焦光譜儀、光學顯微鏡和常規的掃描探針顯微鏡。該系統能用于發光光譜和拉曼散射的三維成像、所有的SPM功能，包括納米壓痕、納米加工和納米刻蝕等。.

掃描探針顯微鏡
除了光學檢測外，NTEGRA Spectra還可使用SPM的方法來研究樣品，諸如：AFM、MFM、STM、SNOM、力譜等等。這樣獨特的集成了光學方法和掃描探針方法合二為一的系統，為用戶完成復雜的實驗變成可能，用戶可從實驗中得到樣品的光學分布信息、化學性質、力學性質、電學性質和磁學性質等。

用超越激光衍射極限的系統來研究樣品
NTEGRASpectra 在檢測樣品時，能提供超越激光光學衍射的光學分辨率。近場光學顯微鏡和TERS系統能讓用戶得到光學性質分布圖（激光傳輸、散射和偏振等）的同時獲得拉曼散射光譜和高達50nm的XY方向分辨率。

技術參數：

共聚焦顯微鏡
光學模塊 正置或倒置光學顯微鏡觀測系統
可見光譜測量(390-800nm)
激發光路中配置手動式格蘭-泰勒起偏棱鏡390-1000nm
檢測光路中配置電動式格蘭-泰勒檢偏棱鏡390-1000nm
三軸定位電動式1/2波片
光束分離器
可選配倏逝激發系統（用于TERS）
光學分辨率 XY：200nm
Z：500nm
掃描模塊 最大樣品質量：1000g
最大掃描范圍：100x100x25 um
XYZ三維全量程閉環控制掃描系統
XY方向非線性度：0.03 % （典型值）
Z方向噪音水平：<0.2 nm （典型值）
XY方向噪音水平：<0.5 nm（典型值）
共聚焦針孔直徑0~1.5mm可調，步進0.5 um
注：無論樣品是否透明，都可用我們的共聚焦顯微鏡在空氣或液體環境中對其進行研究。

拉曼光譜儀
光譜儀焦長520 mm
激光器波長*441, 488, 514, 532, 633 nm
雜散光YZ10^-5，（20nm 用632nm激光器 ）
平場面積28 mm x 10 mm
光譜分辨率0.025 nm (1200 l/mm光柵**)
端口1輸入，2輸出
光柵座4孔轉盤（3 個光柵+“直接成像”模式用的反射鏡）
探測器CCD：光譜響應范圍：2001000 nm，電冷裝置冷卻至80°C，500nm時95% 量子效率
用于光子計數的APD***：光譜相應范圍：4001000 nm，暗計數=25/秒，提供高達1GHz計算速度的PCI卡。 * 標準配置中包括一套488 nm激光器，其他波長激光器可選配
** 可選配其他光柵。小階梯光柵具有最高的光譜分辨率
***可選用PMT

掃描近場光學顯微鏡
功能模式：剪切力成像/SNOM反射模式，透射模式，熒光模式（選配）
激光模塊耦合裝置：X-Y-Z 定位器，定位精度1 um
V型槽光纖固定器
裝配40x物鏡
光纖傳輸系統 KineFlex^TM
光束衰減器：可配多種減光鏡
剪切力成像 樣品尺寸：最大直徑100mm，最大厚度15mm
XY二維樣品移動平臺：樣品定位范圍5x5mm，樣品定位精度5um
XYZ三維全量程閉環控制掃描系統
樣品掃描式 針尖掃描式
掃描范圍 100x100x25 um 100x100x7 um
非線性度 XY 0.03 %（典型值）<0.15%
噪音水平 Z <0.2 nm（典型值）0.04nm（典型值），<=0.06nm
噪音水平 XY <0.5 nm（典型值）0.2 nm（典型值），<=0.3 nm
石英音叉基頻 190 kHz
光纖孔徑 <100nm
可同時采集的數據通道 反射模式
透射模式/熒光模式
PMT 光譜響應范圍：185-850 nm
靈敏度：3x10¹⁰，420 nm時
隔振系統 主動式：0.7-1000 Hz
被動式：大于1 kHz

掃描探針顯微鏡
功能模式：AFM（接觸+半接觸+非接觸）/側向力模式/相位成像模式/力調制模式/粘滯力成像/磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡/掃描電容顯微鏡/掃描開爾文探針顯微鏡/擴展電阻成像模式/刻蝕：AFM（力和電流）
樣品尺寸*最大直徑100mm，最大厚度15mm
掃描范圍50x50x5 um
閉環控制系統**XYZ三維全量程閉環控制掃描系統，采用電容傳感器
非線性度 XY <0.15%
噪音水平Z 0.06 nm（典型值），<=0.07nm
噪音水平 XY 0.1 nm（典型值），<=0.2 nm (XY 50 um)
*掃描頭部可單獨使用，此時對樣品尺寸和重量無限制
**內置的電容傳感器擁有極低的噪音水平，即使降到50x50 nm的區域也可以用閉環控制來掃描

主要特點：

AFM探針和激光光斑wan美的同步協調。AFM探針可在納米級的精度上定位于激光光斑中在TERS中，這是必要的條件。在激光掃描和樣品掃描的6個軸中，全部采用全量程閉環控制系統。
高數值孔徑的光學物鏡和SPM系統緊密的集成在一起，讓系統的光學穩定性達到前所未有的高度為長程和微弱的信號而設計。
反射模式的激光光路可用于激光共聚焦成像。
電冷至-70°C的CCD，用于光譜探測和成像。
也可選用APD來進行光子計數。
在激發通道和檢測通道中，用戶可靈活方便的配置偏光光路。
多功能的集成軟件控制系統，所有的系統模塊包括AFM、光路系統和機械系統都由統一的軟件來控制。激光器、光柵、針孔等等，都可由軟件來切換或調節。
NT-MDT可根據用戶需求定制不同使用需求的TERS系統。