儀器簡介：
JSM-6610A/ JSM-6610LA分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS）組合于一體。結構緊湊的EDS由顯微鏡主體系統的電腦控制，操作員只用一只鼠標，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。

技術參數：
放大倍數: 5-300，000倍
解 析 度: 高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV)
電 子 槍: 全自動，亦可手動調整
樣 品 臺: 大全對中型X=125mm，Y=100mm，Z=5到80mm，傾斜：-10 - +90度，旋轉：360度
燈 絲: 工廠預對中燈絲（鎢）
圖像模式: 二次電子像，成份像，拓撲像，陰影像
加速電壓: 0.3-30KV
聚 光 鏡: 可變焦聚光鏡
物 鏡: 超級錐形物鏡
物鏡光闌: 3，X-Y可細調
電 位 移: ±50微米
自動功能: 聚焦，亮度，襯度，消像散
最大樣品: 直徑：220mm
樣品交換: 抽拉式樣品臺
真空系統: 全自動擴散泵DP。分子泵TMP（選購）
操作系統: Windows XP


主要特點：
1．大樣品室和馬達驅動樣品臺
樣品室對應樣品的直徑可達到200mm,5軸馬達驅動確保了GX率的樣品移動和觀察。
2．操作窗口
直觀的操作界面的設計，簡明易懂便于迅速掌握操作。
3．支持多用戶
單個用戶可以根據常用功能設置相應的圖標，營造GX率的操作環境。用戶登錄時，即可加載已注冊過的設定。
4．同時顯示兩幅圖像
畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像。可同時觀察樣品的形貌和組成分布。
5．微細結構測量
適合于多種測量功能。可在觀察圖像上直接進行測量。也可將測量結果貼至SEM圖像，保存在文件中。
6．標準的全對中樣品臺，能收錄三維照片
3D Sight（選配件），能夠進行平面測量和高度測量，實現立體俯視圖。
7．從圖像觀察到元素分析，配合連貫一條龍
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監視器，一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。
8．維護簡便
工廠預置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長期保持穩定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。
9．可信賴的真空系統
真空系統使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態。擴散泵內部無活動部件，體現了操作穩定，維護簡便的特色。