GC-9280等離子發射色譜儀配備超高靈敏度的等離子發射檢測器，當氣體樣品通過石英管時被高壓發生器電離，產生光信號，濾光片會根據波長選擇性地濾出光信號，并通過光電二極管轉化為電信號，經信號電壓發大器將信號放大到分析所需的程度，滿足檢測ppt 到 百分比的檢測范圍。

• 典型分析

空分(ASU)行業

• 高純O2、N2、Ar中雜質（H2/O2/N2/Ar/CH4/CO/CO2）分析；

• 液O2、液Air及空分吸風口中危險物質(C2H2、N2O、THC、C1-C4)分析；

• 稀有氣體He、Ne、Kr、Xe中雜質(N2/O2+Ar/H2/CO/CO2/CH4/Kr/Xe/N2O/C2F6/CF4/SF6)分析。

特種氣、電子氣行業

• 特氣中雜質(H2/N2/O2+Ar/CO/CO2/CH4）分析；

• 腐蝕性氣體：Cl2、HCl、HBr、NH3、SiH4 、SiHCl3、SiH2Cl2、AsH3、PH3、GeH4、BF3、BCl3、NF3、WF6、HF、F2等雜質分析；

• 鹵化物：C3F8、C4F8、SF6、CF4、C2F6、CHI2CI3、CH2CHCl、SiCl4等雜質分析；

• CO2、NH3、H2等雜質分析。

• 等離子發射檢測器（PED）工作原理

• 等離子發射檢測器是一個靈敏度*的通用型檢測器，其內部有一個設計*的，加載高頻高壓電場的石英腔體。當氣體樣品通過石英腔體時被高壓發生器電離，產生一種叫做場致發光的熒光現象并發射出特征譜線，發射譜線隨著載氣中不同物質而發生變化，用這種光發射技術來對樣品進行定量分析。

• 檢測器產生的光信號被光學系統檢測到，光學系統包括濾光片和光電二極管，濾光片會根據波長選擇性地濾出光信號，并通過光電二極管轉化為電信號，經信號電壓發大器將信號放大到分析所需的程度。

  ?
  

• 等離子發射檢測器（PED）檢測限：