分享 收藏

半導體檢查顯微鏡MX61L

銷售范圍售全國

入駐年限第8年

營業執照

立即掃碼咨詢

聯系方式：400-822-6768

聯系我們時請說明在儀器網（m.oupniq.cn）上看到的!

掃碼分享

為您推薦

產品特點

半導體檢查顯微鏡MX61L切換物鏡時自動調節連動的亮度光圈等，實現了舒適的檢查環境。配備14×12英寸載物臺，能應對大型樣本。

半導體檢查顯微鏡MX61L

能對應300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用）

應對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調節連動的亮度光圈等，實現了舒適的檢查環境。配備14×12英寸載物臺，能應對大型樣本。

半導體／FPD檢查顯微鏡MX61L

觀察影像實例

晶圓（明視場觀察）晶圓（暗視場觀察）

晶圓（微分干涉觀察）彩色濾色片（透射觀察）

半導體／FPD檢查顯微鏡 MX61L 規格
光學系統			UIS2光學系統（無限遠校正）
機身	觀察方法		明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
	反射/透射		反射/透射
	照明裝置		機身一體型（明視場，暗視場＋1選件）
	照明系統	反射照明	100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
		透射照明	纖維光導
	對焦單元	電動/手動	手動
		行程	32 mm
		分辨率/微調靈敏度	微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm
		最大樣本高度	30 mm
	物鏡轉換器	電動型	明視場微分干涉6孔明暗視場微分干涉5孔明暗視場微分干涉6孔明暗視場微分干涉中心輸出5孔
		手動式	-
載物臺	行程		14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范圍356×284 mm）
觀察筒	廣角視場（視場數22）	倒置	雙目/三目觀察筒
		正像	三目觀察筒
	超寬視場（視場數26.5）	倒置	三目觀察筒
		正像	傾斜三目觀察筒
附件單元			DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載
外形尺寸			710（W）×843（D）×507（H）mm（標準組合）
重量			51 kg（標準組合）