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Hiden HPR30過程氣體分析質譜儀

面議 (具體成交價以合同協議為準)
Hiden Analytical HPR30 歐洲 英國 2025-08-12 01:30:00
售全國 入駐:10年 等級:金牌 營業執照已審核
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產品詳情:



技術參數:
HPR-30真空過程氣體分析系統(Process Gas Analyser),適用于監測分析殘余氣體和真空工藝過程中的氣體組成及變化。

應用:

CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
真空涂覆/ 等離子刻蝕
沉積濺射
污染物研究
基本壓力辨別
泄漏探測/ 實質泄漏/脫附分析
除氣/烘烤/泵效能
反應室/過程氣體污染物

特點:

簡潔的桌上型,移動推車或控制臺架結構
Direct re-entrant流孔板,差式泵,以達到最適宜的靈敏度
連續取樣從10-4mbar至1mbar.
高靈敏度(zuiyou可至5ppb),質量數可選至1000amu
軟離子化技術,分析復雜有機物,或表觀MS研究
穩定性好(24h之上,峰高變化小于±0.5%)
MASsoft軟件控制,或由局域網進行多個系統控制
氣動閥自動控制;出現電力不足或壓力過大等不安全狀況時可啟用手動隔離裝置
自動、同時數據取得、分析,實時顯示、報警

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