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美國SVT 在線陰極熒光光譜儀/In-Situ CL

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詳細介紹



此在線CL系統是監控MBE生長過程的理想選擇。

CL可以放置在獨立的觀察窗位置。

通過RHEED槍以及敏感的光學探測系統,CL可以實時提供材料組分的準確信息,并進行實時光學分析。

部件有8''的前后移動容域度,避免與其他部件相互干擾。

CL通過電子激發技術調節電子能量,可以檢測較深的薄膜表面信息。

與其配套的Windows軟件操作系統,可以實現操作自動化及圖譜分析。

特點

一個端口可以同時監測薄膜成分和光學分析

摻雜水平信息

部件可前后移動,使部件間相互干擾最小化

全電腦控制及分析

光譜范圍

200-900nm

分辨率

0.5nm

探測器量子效率

25%

探測器輸出

10V/nW

噪音等效

<250V

觀察窗口

2.75''CF

外部尺寸

9.0''X25.5''X10.1'' (22cm×65cm×26cm)

腔室內尺寸

1.25''×13.1'' (3.2cm×34cm)

行程距離

最大8''(20.3cm)

靶距離

2''(5.1cm)

電腦要求

Windows 9X,2000,XP


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