SU-70電子顯微鏡是一種新概念掃描電子顯微鏡，它采用了日立經過實地驗證的 "semi-in-lens"超高分辨率技術以及肖特基熱場發射電子槍技術。除了具有超高分辨率（1.0 nm/15 kV，1.6 nm*/1 kV）的特點外，它還借助聲名遠播的SuperExB功能可觀察減輕荷電圖像，成分構成對比圖像，超低加速電壓圖像*。肖特基場發射電子槍的探針電流為100 nA，可進行各種各樣的分析操作（X 射線能譜儀*, X射線波譜儀*,電子背散射衍射系統*等）。