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GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀

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詳細(xì)介紹

GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng),主要由射頻發(fā)生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件的環(huán)境下,迅速活化和清理材料(如單晶片、光學(xué)元件、塑料等)表面雜質(zhì)。本機(jī)是為獲得高質(zhì)量的外延薄膜或光學(xué)涂層,預(yù)先進(jìn)行表面處理的**選擇。

主要特點

1、高速處理物件表面,操作簡單、安全。

2、無需真空和腔室環(huán)境。

3、小巧實用、成本低。

4、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊。

5、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:110/220V 50/60Hz <100W

2、輸出頻率:20-23KHz

3、離子束頭:圓頭10-12mm,矩形頭15-18mm

4、輸入氣壓:最小0.275MPa

5、工作氣氛:空氣、氮氣、氬氣、混合氣體,但不要使用易燃易爆氣體

6、等離子工作壓力:0.048MPa-0.068MPa

7、工作環(huán)境:溫度<42℃,濕度≤40%RH

8、工作臺:自動控制三維工作臺,X、Y軸電動調(diào)節(jié),Z軸手動調(diào)節(jié)

9、真空吸盤:Φ100mm

10X軸行程:200mm

11、Y軸行程:100mm

12、Z軸行程:50mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:600mm×600mm×1250mm

重量:55kg




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