儀器特點

材料的熱物理性質(zhì)以及產(chǎn)品的傳熱優(yōu)化在工業(yè)應用領域變得越來越重要。

　 經(jīng)過幾十年的發(fā)展，閃射法已經(jīng)成為最常用的用于各種固體、粉末和液體熱導率、熱擴散系數(shù)的測量方法。

薄膜熱物性在工業(yè)產(chǎn)品中正變得越來越重要，如：相變光盤介質(zhì)、熱電材料、發(fā)光二極管（LED ） ，相變存儲器、平板顯示器以及各種半導體。在這些工業(yè)領域中，特定功能沉積膜生長在基底上以實現(xiàn)器件的特殊功能。由于薄膜的物理性質(zhì)與塊體材料不同，在許多應用中需要專門測定薄膜的參數(shù)。

　 基于已實現(xiàn)的激光閃射技術，LINSEIS TF-LFA 薄膜激光導熱測量儀(Laserflash for thin films)可以測量80nm20μm厚度薄膜的熱物理性質(zhì)。

1、瞬態(tài)熱反射法（后加熱前檢測（RF）） ：

由于薄膜材料的物理性質(zhì)與塊體材料顯著不同，必需要有相應的技術來克服傳統(tǒng)激光閃射法的不足，即瞬態(tài)激光閃射法。

尺寸測量方法與傳統(tǒng)激光閃射法相同：檢測器和激光器在樣品兩側(cè)。考慮到紅外探測器測試薄膜太慢是，檢測是通過所謂的熱反射方法完成的。該技術的原理是材料在加熱時，表面反射的變化可用于推導出熱性能。測量反射率隨時間的變化，得到的數(shù)據(jù)代入包含的系數(shù)模型里面并快速計算出熱性能。

2、時域熱反射法（前加熱前檢測（FF） ） ：

時域熱反射技術是另一種測試薄層或薄膜熱性能（熱導率，熱擴散率）的方法。測量方式的幾何構(gòu)造被稱為“前加熱前檢測（FF） ”，因為檢測器和激光在樣品上的同一側(cè)。該方法可以應用于非透明基板上的薄膜層，這種薄膜層不適合使用RF技術。

3、瞬態(tài)熱反射法（RF）和時域熱反射法（FF）相結(jié)合：

兩種方法可以集成在一個系統(tǒng)中并實現(xiàn)兩者優(yōu)點的結(jié)合。

技術參數(shù)