三重四極桿ICPMS，第一重四極桿離子偏轉器（QID，Quadruple Ion Detector）將離子與未電離物質分開，第二重四極桿通用池 (UCT, Universal Cell TechnologyTM) 將單原子離子與多原子離子干擾分開，第三重主四極桿將待分析的單原子離子依次分開進行檢測。三重四極桿ICP-MS的性能是普通單級四極桿ICP-MS所無法企及的。