元素測量范圍：

13號鋁元素到92號鈾元素

X射線管：

50 W（50kV和1mA）微聚焦鎢鈀射線管

探測器：

190eV及以上分辨率的Si-PIN固態探測器

分析層數及元素數：

5層，每層可分析10種元素，成分分析最多可分析25種元素

濾波器：

4位置一次過濾器/單規格準直器

焦距：

激光固定焦距（可選多焦點）

數字脈沖器：

4096 多通道數字處理器，自動死時間和逃逸峰校正

計算機：

英特爾, 酷睿 i5 3470 處理器 (3.2GHz), 8GB DDR3 內存, 微軟 Windows 10 專業版, 64位

相機：

1 /   4"CMOS-1280×720 VGA分辨率

電源：

150W，100-240V，頻率范圍為47Hz至63Hz

重量：

34kg

可編程XY平臺：
  延伸可編程XY平臺：

不可用
  不可用

樣品倉尺寸：

高度：140mm（5.5"），寬度：310mm（12"），深度：340mm（13"）

外形尺寸：

高度：450mm（18"），寬度：450mm（18"），深度：600mm（24"）