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反射式膜厚測量儀
- 品牌:日本HalfMoon
- 產(chǎn)地:亞洲 日本
- 供應(yīng)商報價:面議
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上海瞬渺光電技術(shù)有限公司
更新時間:2022-01-12 15:50:35
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銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照
- 同類產(chǎn)品半導(dǎo)體研發(fā)測試(9件)
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品特點(diǎn):
?非接觸式、不破壞樣品的光干涉式膜厚計。
?高精度、高再現(xiàn)性測量紫外到近紅外波長反射率光譜,分析多層薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)(n:折射率,k消光系數(shù))。
?寬闊的波長測量范圍。(190nm-1100nm)
?薄膜到厚膜的膜厚測量范圍。(1nm~250μm)
?對應(yīng)顯微鏡下的微距測量口徑。
產(chǎn)品規(guī)格:
標(biāo)準(zhǔn)型
厚膜專用型
膜存測量范圍 1nm~40μm
0.8μm~250μm
波長測量范圍
190~1100nm
750~850nm
感光元件 PDA512ch(電子制冷)
CCD512ch(電子制冷)
PDA512ch(電子制冷)
光源規(guī)格 D2(紫外線)、12(可見光)、D2+12(紫外-可見光)
12(可見光)
電源規(guī)格 AC100V±10V750VA(自動樣品臺規(guī)格)
尺寸 4810(H)×770(D)×714(W)mm(自動樣品臺規(guī)格之主體部分)
重量 約96kg(自動樣品臺規(guī)格之主體部分)
應(yīng)用范圍:
FPD
-LCD、TFT、OLED(有機(jī)EL)
半導(dǎo)體、復(fù)合半導(dǎo)體
-矽半導(dǎo)體、半導(dǎo)體鐳射、強(qiáng)誘電、介電常數(shù)材料
資料儲存
-DVD、磁頭薄膜、磁性材料
光學(xué)材料
-濾光片、抗反射膜
平面顯示器
-液晶顯示器、膜膜電晶體、OLED
薄膜
-AR膜
其他
-建筑用材料
測量范圍:
玻璃上的二氧化鈦膜厚、膜質(zhì)分析