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四探針具有6個連接通道的cartridge型(CDE)
- 品牌:英國jandel
- 型號: cartridge
- 產地:歐洲 英國
- 供應商報價:面議
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上海瞬渺光電技術有限公司
更新時間:2022-01-12 15:50:35
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入駐年限第10年
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詳細介紹
四探針探針頭
Jandel公司生產的具有6個連接通道的cartridge型四探針探頭.其創意設計是與CDE系統相兼容.
所有jandel公司生產的探頭具有非常高的機械精度。通過視頻檢測系統和光學干涉儀來驗證規范探針半徑曲率、間距以及平面性(平面度/平整度), 其負荷是通過電子測力計來驗證。并且每個探針都通過帶有寶石導向針進行上下移動。
雖然該探頭與KLA/ Tencor /Prometrix公司制造的工具的探頭非常的相似,但是這倆個探頭之間并不能替換,且要小心的保護它們,尤其是當倆個系統同時使用時.CDE兼容的探頭有一個獨特的黑色物鏡轉換器。
探針間距
0.500mm,0.635mm, 1.00mm, 1.27mm, 1.591mm (針與針之間)
公差
±10μm
排列
線性或者矩形排列
探針頭
碳化鎢/直徑d=0.4mm(直徑d=0.3mm可用于近間距密植距)
針頭材質選擇
可建議選用50%的鋨合金材質
針尖半徑曲率
12.5, 25, 40, 100, 150, 200, 300, 500μm
緩沖區
0.5mm
平面度
≥ ±0.025(或更好)
針尖壓力
10g~250g
漏電
當電壓500V時,其兩針之間的其電阻為1013Ω
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