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四探針具有6個連接通道的cartridge型(CDE)

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詳細介紹

四探針探針頭

Jandel公司生產的具有6個連接通道的cartridge型四探針探頭.其創意設計是與CDE系統相兼容.

所有jandel公司生產的探頭具有非常高的機械精度。通過視頻檢測系統和光學干涉儀來驗證規范探針半徑曲率、間距以及平面性(平面度/平整度), 其負荷是通過電子測力計來驗證。并且每個探針都通過帶有寶石導向針進行上下移動。

雖然該探頭與KLA/ Tencor /Prometrix公司制造的工具的探頭非常的相似,但是這倆個探頭之間并不能替換,且要小心的保護它們,尤其是當倆個系統同時使用時.CDE兼容的探頭有一個獨特的黑色物鏡轉換器。



探針間距

0.500mm,0.635mm, 1.00mm, 1.27mm, 1.591mm (針與針之間)

公差

±10μm

排列

線性或者矩形排列

探針頭

碳化鎢/直徑d=0.4mm(直徑d=0.3mm可用于近間距密植距

針頭材質選擇

可建議選用50%的鋨合金材質

針尖半徑曲率

12.5, 25, 40, 100, 150, 200, 300, 500μm

緩沖區

0.5mm

平面度

≥ ±0.025(或更好)

針尖壓力

10g~250g

漏電

當電壓500V時,其兩針之間的其電阻為1013Ω



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