典型應用

電子束光刻

半導體檢測

掃描電子顯微鏡

TYPICAL APPLICATIONS
Electron-Beam Lithography
Semiconductor Inspection
Scanning Electron Microscopes

EGM是威思曼高壓電源提供的高穩定性，低紋波電子槍高壓電源，EGM集成懸浮的燈絲電源和有源偏置電源，全數字化測控。有過壓、過流、拉弧保護。

特性：

束能量
輸出電壓：-50kv-0可調。（其他輸出電壓可根據要求）

輸出電流：500A最大。

電壓調整率：<10 ppm 輸入變化10%

電流調整率：<10 ppm

穩定性：<2.0ppm/48小時/ 0.5°C

預熱時間：5小時完全穩定性。

紋波和噪聲：<2.5ppm。

燈絲電源
最大功率：10W，最大電流2A,最大電壓10V
電壓調整率：<10 ppm 輸入變化10%

電流調整率：< 5%功率變化的可能性，4-7瓦（1歐-7歐）

漂移：<50ppm/ 12小時/ 0.5°C 預熱后

預熱：< 3小時完全穩定性

紋波和噪聲：< 0.1%（工作頻率），<50ppm（10到3千赫）
顯示:
+1.00V 等于 10W
穩定性：100ppm
精度：0.5%

有源偏置

電壓范圍：

低：- 200 -1100參考長絲中心抽頭

高：- 200 -2000號燈絲中心抽頭

溫度系數：<100 ppm/°C

發射控制：0至500A

監測：

100 ppm的穩定性

0.1%的準確度

輸入：AC90-265V 47Hz到63Hz
溫度: 使用溫度: 20°C到25°C. 儲存溫度: -10°C到70°C.
濕度: 10 to 70% 不結露.

有關威思曼及其更多高壓產品的信息，請致電 086-029-33693480或訪問其網站：www.wismanhv.com

威思曼高壓電源有限公司是世界具有領導地位直流高壓電源和一體化X射線源供應商，同時提供標準化產品和定制設計服務。產品廣泛應用于醫療,工業,半導體,安全,分析儀器，實驗室以及海底光纖等設備。集設計，生產和服務為一體的工廠分布于美國，英國，及ZG等地，并且我們銷售中心遍布于歐洲，北美洲以及亞洲，我們將竭誠為您服務!