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CIF透射電鏡樣品桿清洗機

銷售范圍售全國

入駐年限第6年

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產品特點

CIF透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機采用雙等離子清洗源設計，自動切換，一機多用，清洗快速GX。遠程等離子體清洗快速GX低轟擊損傷，同時可實現常規等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏用途。

CIF透射電鏡樣品桿清洗機

透射電鏡3.png

CIF透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機采用雙等離子清洗源設計，自動切換，一機多用，清洗快速高效。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時可實現常規等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏用途。

產品特點

u 雙等離子清洗源

u 一機多用

u 快速高效低損傷

技術參數

產品型號	CIF-TEM
真空泵	Agilent 、IDP-3渦輪式真空干泵
	最大入口壓力1.0個大氣壓（0psig），最大出口壓力1.4個大氣壓（6.5psig）
	最高抽速60L/min，極限真空3.3 x 10-1 mbar
	KF16入口接口
等離子電源	13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-100W可調
等離子電源	兩種等離子體清洗源，原位等離子源和遠程等離子源，自動匹配器
清洗室	清洗室尺寸(長X寬X高)150X150X150mm
清洗數量	可同時清洗3支TEM樣品桿
適配品牌	THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷歐路JEOL
氣體控制	標配雙路50毫升/分氣體質量流量控制器（MFC），精確測量自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響
氣源選擇	根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇
真空控制	美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計，測量范圍1E-5Torr
真空保證	真空計和電磁閥安全互鎖
操控方式	7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面
電源	220V，50/60Hz，300W
質量保證	二年質保，終身維護